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J-GLOBAL ID：202002249779732938   整理番号：20A2453381

熱分解炭素-炭化ケイ素ナノ複合材料の共析出合成による熱分解炭素被覆の機械的及び耐酸化性の改善【JST・京大機械翻訳】

Improvement of the mechanical and oxidation resistance of pyrolytic carbon coatings by co-deposition synthesis of pyrolytic carbon-silicon carbide nanocomposite

著者 (2件)： Yousefi Mohammad (Gas Conversion Department, Petrochemical Faculty, Iran Polymer and Petrochemical Institute, 15km Tehran-Karaj Highway, Pajouhesh Science and Technology Park, Pajouhesh Blvd., PO Box: 112/14975, Iran) ,  Rahim-abadi Meysam Maleki (Gas Conversion Department, Petrochemical Faculty, Iran Polymer and Petrochemical Institute, 15km Tehran-Karaj Highway, Pajouhesh Science and Technology Park, Pajouhesh Blvd., PO Box: 112/14975, Iran)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 713  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,熱分解炭素-炭化ケイ素(PyC-SiC)ナノ複合材料を,高温(1100°C)での化学蒸着法を用いて,前駆体としてトリメチルシリルクロリド(TMSCl)の熱分解により調製した。PyC-SiCのナノ複合材料を,共蒸着法により,キャリアガスとして窒素の流れからSiCとPyC成分の堆積により合成した。微細構造,組成,熱特性および機械的挙動に及ぼす基板タイプおよびTMSCl濃度の影響を調べた。PyC-SiCナノ複合材料の形成を,Raman分光法,Fourier変換赤外分光法およびX線回折によって追跡した。走査電子顕微鏡を用いてナノ複合材料形態を調べた。さらに,PyC-SiCナノ複合材料中のSi元素の量と分布をエネルギー分散X線マッピングにより決定した。結果は,より高いSiC含有量を含むナノ複合材料が,グラファイト上に2.5vol%のTMSClによって合成されたことを示した。さらに,熱重量分析と耐摩耗性(トライボメータ)の結果は,ナノ複合材料の酸化と耐摩耗性が,ナノ複合材料中の埋め込まれたシリコンの量の増加とともに増加することを示した。PyCと比較して調製したナノ複合材料の酸化温度と耐摩耗性は,それぞれ約100°Cと300%に増加した。トライボロジー結果は,ナノ複合材料の摩擦係数がTMSCl濃度の増加に伴い約25~300%増加することを示した。最後に,ナノインデンテーション試験の結果は,ナノ複合材料に埋め込まれたSiC量の増加が,ナノ複合材料の弾性率と硬度をそれぞれ180%と100%改善することを示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  高温 ,  *酸化 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  *熱分解 ,  摩擦係数 ,  *ケイ素 ,  窒素 ,  *耐酸化性 ,  グラファイト ,  *炭化ケイ素 ,  トライボロジー ,  薄膜成長 ,  同時蒸着
準シソーラス用語： *熱分解炭素 ,  *共析出 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 薄膜 ,  熱分解炭素 ,  炭化ケイ素 ,  化学蒸着 ,  機械的性質 ,  耐酸化性

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 熱分解炭素 ,  炭化ケイ素 ,  ナノ複合材料 ,  共析出 ,  耐酸化性