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J-GLOBAL ID:202002249795908665   整理番号:20A2260523

マイクロLEDパネル修理のための並列および分離XYフレキシブル位置決めプラットフォーム【JST・京大機械翻訳】

Parallel and Decoupled XY Flexible Positioning Platform for Micro LED Panel Repair
著者 (4件):
資料名:
巻: 2020  号: ICEPT  ページ: 1-6  発行年: 2020年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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マイクロエレクトロニクス包装の分野では,マイクロリング質量移動技術が大規模ディスプレイパネルの製造の鍵となり,欠陥修復技術がディスプレイパネルの品質管理に特に重要である。一般に,この修理プロセスは,全パネルに対して高速かつ高位置決め精度において欠陥チップターゲットを到達し,置換する運動メカニズムを必要とする。マイクロLEDパネル修理の要求を満たすために,本論文は,大ストロークマクロ-ミクロ複合段階のためのXY並列デカップリングフレキシブルマイクロモーションプラットフォームを導入した。可撓性プラットフォームは2対の柔軟な二重ブリッジ増幅機構によって誘導され,移動プラットフォームの周りで対称的に分布する。S型ヒンジによってスプライスされる移動対を移動プラットフォームに接続して,デカップリング入力と出力の性能を達成した。マイクロステージ構造に基づいて,柔軟性と剛性解析を,フレキシブルプラットフォームの静的および動的モデリングを通して実行した。粒子スウォーム最適化法をサイズ最適化と機構モデリングのために使用する。微小運動段階の性能を,有限要素シミュレーション解析によって確かめた。シミュレーション結果は,本論文で提案したXYフレキシブルプラットフォームが,良好な並列デカップリングと増幅比を持ち,マイクロLEDパネルの欠陥修復のためのマクロマイクロ運動段階を開発するのに使用できることを示した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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図形・画像処理一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
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