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J-GLOBAL ID：202002250932239311   整理番号：20A1344560

オゾンの影響:tert-ブチルフェロセンとO_3を用いたFe_2O_3の原子層蒸着における超化学量論的酸素【JST・京大機械翻訳】

The Influence of Ozone: Superstoichiometric Oxygen in Atomic Layer Deposition of Fe₂O₃ Using tert-Butylferrocene and O₃

著者 (3件)： Schneider Joel R. (Department of Chemical Engineering, Stanford University, Stanford, CA, 94305, USA) ,  Baker Jon G. (Department of Chemical Engineering, Stanford University, Stanford, CA, 94305, USA) ,  Bent Stacey F. (Department of Chemical Engineering, Stanford University, Stanford, CA, 94305, USA)
資料名： Advanced Materials Interfaces  (Advanced Materials Interfaces)
巻： 7  号： 11  ページ： e2000318  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2484A  ISSN： 2196-7350  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子層堆積(ALD)における化学機構の理解は,ALDのより複雑なクラスへの効果的なプロセス開発と拡張に重要である。本研究では,反応物としてtert-ブチルフェロセンとオゾンを用いてALDによって堆積した酸化鉄の機構的研究を行った。オゾンを用いた酸化鉄ALDは,オゾンベースALDプロセスの普及と三元および四元金属酸化物における酸化鉄の使用による機構研究のための有用なモデル系である。結果は,飽和条件が文献中で典型的に報告されているよりも両反応物の著しく大きな曝露を必要とし,サイクル当りのFe_2O_3の1つの単層より大きいサイクル当りの成長が観察され,説明されることを示した。オゾン曝露の増加が膜への超化学量論酸素の取り込みをもたらす成長メカニズムを提案した。X線キャラクタリゼーションは,より大きなオゾン曝露で堆積した膜の表面近傍に貯蔵された過剰酸素の存在を明らかにし,増加したオゾン曝露が,γ-マグヘマイト相からα-ヘマタイト相への膜の結晶ドメイン再配列と変換を引き起こすことを示した。ここで記述した機構は,より広いクラスのオゾンベースのALDプロセスに含意があり,この成長現象の応用の可能性を議論した。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 薄膜 ,  金属酸化物 ,  酸化鉄 ,  赤鉄鉱 ,  *オゾン ,  *化学量論 ,  反応機構 ,  酸素過多 ,  マグヘマイト ,  薄膜成長 ,  単一層 ,  キャラクタリゼーション ,  プロセス開発
準シソーラス用語： ドメイン構造 ,  反応物 ,  再配列 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 原子層蒸着 ,  酸化鉄 ,  オゾン ,  表面改質 ,  薄膜

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： オゾン ,  TERT ,  原子層蒸着 ,  酸素