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J-GLOBAL ID:202002252051891602   整理番号:20A1898757

環状堆積によるナノ構造多孔質シリコン-銀複合材料層の作製と特性評価:ディップコーティング対スピンコーティング【JST・京大機械翻訳】

Fabrication and characterization of nanostructured porous silicon-silver composite layers by cyclic deposition: dip-coating vs spin-coating
著者 (13件):
資料名:
巻: 31  号: 36  ページ: 365704 (11pp)  発行年: 2020年 
JST資料番号: W0108A  ISSN: 0957-4484  CODEN: NNOTER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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ナノ構造多孔質シリコンと銀(nPSi-Ag)の複合材料は,マイクロエレクトロニクス,フォトニクス,光触媒およびバイオエンジニアリングのような分野での応用の広いスペクトルにより大きな注目を浴び,ナノ構造複合材料,ディップおよびスピンコーティングの製作のための異なる方法の中で,機能性コーティングを提供するための簡単で,汎用性があり,費用対効果の高いボトムアップ技術である。その意味で,nPSi-Ag複合層を作製することを目指した。30nmの細孔径を有するnPSi層を用いて,2種類の薄膜技術を系統的に比較した:繰返しディップコーティング(CDC)と繰返しスピンコーティング(CSC)。CDC法は,金属Agの粒状とフレーク状構造の混合を形成し,CSC法は,AgとAg_2O相を有するフレーク状構造の合成に有利であった。CDCとCSCによって得られたフレークは,それぞれ110nmと70nmの幅を示した。また,粒子は約25nmの特徴を有するナノ構造表面を示した。EDXとRBSの結果によると,nPSiへのAgの統合はCDC技術を用いて達成された。Agナノ構造上に吸着したキトサンに関連したSERSピークは,特にCDCと比較してCSCにより作製されたnPSi-Ag複合材料層で増強され,FTDTシミュレーションにより確認された。これらの結果は,CDCとCSCが生体工学とフォトニクスにおける潜在的用途のための異なるnPSi-Ag複合層を生成することを示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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固体プラズマ 

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