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J-GLOBAL ID：202002253227622381   整理番号：20A1759912

ウエハ・ファブのためのコンベヤベースAMHSにおける旅行時間変動性を低減し,混雑を避けるための輸送スケジュールの最適化対構築【JST・京大機械翻訳】

Optimization versus construction of transport schedules to reduce travel time variability and avoid congestions in conveyor-based AMHS for wafer fabs

著者 (3件)： Schwenke Clemens (Dresden University of Technology (TUD), Dresden, Germany) ,  Jannasch Sebastian (Dresden University of Technology (TUD), Dresden, Germany) ,  Kabitzsch Klaus (Dresden University of Technology (TUD), Dresden, Germany)
資料名： ACM Proceedings  (ACM Proceedings)
号： WSC ’18  ページ： 3502-3513  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0698C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体製造施設(ウエハファブ)におけるコンベヤベース自動材料処理システム(AMHS)のための先進輸送スケジューリングは,輸送時間,従ってサイクル時間を低減することができる。共通して,回転テーブルのようなコンベヤ接合における到着ウエハロットの輸送操作は,myopic first-come-first-serviceポリシーによって,アドホックに配列される。対照的に,輸送操作のための改善された輸送スケジュールは,プロセス操作のための全体の生産スケジュールと併せて,時間の前に生産できる。より正確には,そのような輸送スケジュールは,もう1つの輸送を固定することにより,連続的に構築できるか,あるいはいくつかの矛盾する輸送を同時に固定することによって最適化できる。したがって,2つの概念的に異なる輸送スケジューリング法,すなわち,非待ち制約を強制することによる混雑を避けることが,輸送関連の変動性に関して,特別なものと比較された。さらに,典型的なインターバシー内レイアウトを示す3つの異なるAMHSモデルを計算実験に用いた。Please refer to this article’s citation page on the publisher website for specific rights information. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *最適化 ,  接合 ,  *コンベヤ ,  旅行時間 ,  処理装置
準シソーラス用語： サイクルタイム ,  *シリコンファンドリ ,  半導体製造 ,  輸送時間 ,  生産スケジューリング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 工程管理  (KB03030P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： ウエハ ,  ファブ ,  コンベヤ ,  旅行時間 ,  変動性 ,  輸送 ,  スケジュール ,  最適化 ,  構築