文献

J-GLOBAL ID：202002254086597284   整理番号：20A2192413

X線光電子分光法によるセレン化亜鉛表面の酸化に及ぼすエッチングの影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of etching on the oxidation of zinc selenide surfaces characterized by X-ray photoelectron spectroscopy

著者 (6件)： Hellgren Niklas (Department of Mathematics, Physics, and Statistics, Messiah College, One College Ave, Mechanicsburg, PA 17055, USA) ,  Steves Megan A. (Department of Chemistry and Biochemistry, Messiah College, One College Ave, Mechanicsburg, PA 17055, USA) ,  Shallenberger Jeffrey (Materials Research Institute, Penn State University, University Park, PA 16802, USA) ,  O’Boyle Sarah K. (Department of Chemistry and Biochemistry, Messiah College, One College Ave, Mechanicsburg, PA 17055, USA) ,  Mellott Emily (Department of Chemistry and Biochemistry, Messiah College, One College Ave, Mechanicsburg, PA 17055, USA) ,  Noble Alison R. (Department of Chemistry and Biochemistry, Messiah College, One College Ave, Mechanicsburg, PA 17055, USA)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 528  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： セレン化亜鉛(ZnSe)の表面化学をX線光電子分光法(XPS)により,塩酸(HCl),過マンガン酸カリウム:硫酸(KMnO_4:H_2SO_4),および水酸化アンモニウム:エタノール(NH_4OH:C_2H_6O)の溶液中でのエッチングを含む種々の表面処理の関数として研究した。また,試料をUV-オゾン(UV-O_3)チャンバーで処理して,有機汚染を除去したが,酸化を増加させた。すべてのスペクトルを,真空中試料を切断して得た清浄なZnSe表面のそれと参照した。すべての試料に一貫したピークフィッティングを適用し,各成分の傾向を相関させることにより,種々の酸化物と水酸化物の寄与を区別することができた。すべてのエッチングはZnを優先的に除去し,Seリッチ表面をZn/Se>0.8で残し,実質的に全てのZnOとSeO_2を除去するが,酸素と炭素はエッチング液と空気暴露からの再吸収により検出される。UV-O_3処理後,ZnOとSeO_2のシグナルはHClとKMnO_4:H_2SO_4エッチング試料でかなり増加した。しかし,NH_4OH:C_2H_6Oエッチング試料では,水素含有化学種が非晶質Se最上層にトラップされ,これは,UV-O_3処理後にSeO_2とZnOよりもSeOHとZnOHの生成に寄与し,またH_2Seは余剰Seの脱着が寄与し,化学量論的ZnSeに近い。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エッチング ,  *亜鉛 ,  酸素 ,  水素 ,  *セレン ,  炭素 ,  硫酸 ,  オゾン ,  塩酸 ,  酸化亜鉛 ,  非晶質 ,  スペクトル ,  *セレン化亜鉛 ,  *X線光電子分光法
準シソーラス用語： 過マンガン酸カリウム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ZnSe ,  化学エッチング ,  表面酸化物 ,  XPS

分類 (5件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  太陽電池  (NC03084O) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  光化学一般  (CB08010U) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： X線光電子分光法 ,  セレン化亜鉛 ,  酸化 ,  エッチング