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J-GLOBAL ID：202002254350482432   整理番号：20A1935386

相乗的光リソグラフィーにより作製したマルチレベル位相超臨界レンズ【JST・京大機械翻訳】

Multilevel phase supercritical lens fabricated by synergistic optical lithography

著者 (10件)： Fang Wei (Guangdong Provincial Key Laboratory of Optical Fiber Sensing and Communications, Institute of Photonics Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, China) ,  Lei Jian (Guangdong Provincial Key Laboratory of Optical Fiber Sensing and Communications, Institute of Photonics Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, China) ,  Zhang Pengda (Guangdong Provincial Key Laboratory of Optical Fiber Sensing and Communications, Institute of Photonics Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, China) ,  Qin Fei (Guangdong Provincial Key Laboratory of Optical Fiber Sensing and Communications, Institute of Photonics Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, China) ,  Jiang Meiling (Guangdong Provincial Key Laboratory of Optical Fiber Sensing and Communications, Institute of Photonics Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, China) ,  Zhu Xufeng (Guangdong Provincial Key Laboratory of Optical Fiber Sensing and Communications, Institute of Photonics Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, China) ,  Zhu Xufeng (Key Laboratory of Laser Information Processing Technology and Application, Kunming University of Science and Technology, Kunming 650500, China) ,  Hu Dejiao (Guangdong Provincial Key Laboratory of Optical Fiber Sensing and Communications, Institute of Photonics Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, China) ,  Cao Yaoyu (Guangdong Provincial Key Laboratory of Optical Fiber Sensing and Communications, Institute of Photonics Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, China) ,  Li Xiangping (Guangdong Provincial Key Laboratory of Optical Fiber Sensing and Communications, Institute of Photonics Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, China)
資料名： Nanophotonics (Web)  (Nanophotonics (Web))
巻： 9  号： 6  ページ： 1469-1477  発行年： 2020年 
JST資料番号： U8087A  ISSN： 2192-8614  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 独特の干渉特性を有する超振動レンズ(SOL)と超臨界レンズ(SCL)を含む平面メタルセンスの出現は,遠視野光回折限界の長持続知覚に大きな影響を与える。驚異的な小さな焦点スポットの達成におけるその顕著な成功にもかかわらず,平面金属は,高い集束効率を実現するために,依然として強靭な設計と製作の課題に直面している。本研究では,集束効率スパイキングを有するマルチレベル位相SCLを実現するための二光子重合に基づくデュアルモードレーザ製作技術を実証した。ピエゾステージと走査ガルボミラーで実行される2種類の運動軌跡を相乗的に制御することは,サブ回折限界特徴サイズの複雑な構造の作製を可能にする。このような利点を利用して,離散化したマルチレベル位相構成を有するSCLを明示的にパターン化した。実験的なキャラクタリゼーション結果は,4レベル位相SCLが,0.41λ/NA(NAが開口数)の横方向サイズを有するサブ回折限界スポットに光を集中できることを示し,一方,焦点領域における焦点スポット強度とエネルギー濃度比は,それぞれ,同じ最適化条件を有する従来のバイナリ振幅型SCLのそれの7.2倍と3倍に達した。これらの結果は,サブ回折限界平面金属に対する応用障害を解放し,無標識光学超解像イメージングから高精度レーザ製作への分野における大きな進歩を可能にする。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 干渉 ,  最適化 ,  集束 ,  *レンズ ,  画像処理 ,  *位相 ,  超解像 ,  *リソグラフィー ,  開口数 ,  遠視野 ,  *フォトリソグラフィー ,  パターン形成 ,  *超臨界
準シソーラス用語： 離散化 ,  *マルチレベル , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 超臨界レンズ ,  サブ回折限界集束 ,  2光子最適化光学リソグラフィー ,  マルチレベル相 ,  高効率

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光リソグラフィー ,  作製 ,  マルチレベル ,  位相 ,  超臨界 ,  レンズ