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J-GLOBAL ID:202002254507536738   整理番号:20A2082099

多重逐次被覆により作製したブロック共重合体の配向厚膜:穿孔ラメラ対配向ラメラ【JST・京大機械翻訳】

Oriented thick films of block copolymer made by multiple successive coatings: perforated lamellae versus oriented lamellae
著者 (5件):
資料名:
巻: 16  号: 35  ページ: 8179-8186  発行年: 2020年 
JST資料番号: W2327A  ISSN: 1744-683X  CODEN: SMOABF  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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基板上への共重合体堆積による3D秩序ナノ構造の構築は,薄膜領域を超えた完全な制御を意味する。ここでは,バルクラメラ相を形成するブロック共重合体(BCPs)を用いて,厚い,すなわち,ラメラ周期より厚い,基板上への構造化膜を形成した。膜は多重連続被覆の簡単な方法によって形成した。表面テンプレートとアニーリング時間の組合せ作用を用いて膜構造を制御した。厚い層のセクションを,BCP部分の1つをエッチングした後,走査電子顕微鏡(SEM)によって特徴づけた。基板に平行なラメラを有する完全六角形多孔膜(HPL)が300nmまでの広い厚さ範囲で形成されたことを示した。すれすれ入射小角X線散乱(GISAXS)は,穿孔が六角形格子に座ることを明らかにしたことにより,そのような組織化を確認した。基板に垂直なラメラ組織は,より厚い膜に対して起こることを示した。著者らの観察と一致するシナリオを提案し,そこでは,位相のシーケンスが,表面と伸張エネルギー効果の間のバランスから生じる。Copyright 2020 Royal Society of Chemistry All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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高分子固体の構造と形態学 

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