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J-GLOBAL ID：202002255148436070   整理番号：20A2510251

海洋高精度ピエゾ抵抗圧力センサの温度特性と補償アルゴリズム【JST・京大機械翻訳】

Temperature characteristic and compensation algorithm for a marine high accuracy piezoresistive pressure sensor

著者 (10件)： Wu S. (School of Materials Science and Engineering, Tianjin University, Tianjin, People’s Republic of China) ,  Wu S. (National Ocean Technology Center, Tianjin, People’s Republic of China) ,  Zhang T. (National Ocean Technology Center, Tianjin, People’s Republic of China) ,  Li Z. H. (National Ocean Technology Center, Tianjin, People’s Republic of China) ,  Jia J. W. (National Ocean Technology Center, Tianjin, People’s Republic of China) ,  Deng Y. (National Ocean Technology Center, Tianjin, People’s Republic of China) ,  Xu P. L. (National Ocean Technology Center, Tianjin, People’s Republic of China) ,  Shao Y. (National Ocean Technology Center, Tianjin, People’s Republic of China) ,  Deng D. Y. (School of Materials Science and Engineering, Tianjin University, Tianjin, People’s Republic of China) ,  Hu B. W. (School of Materials Science and Engineering, Tianjin University, Tianjin, People’s Republic of China)
資料名： Proceedings of the Institute of Marine Engineering, Science and Technology. Journal of Marine Engineering and Technology  (Proceedings of the Institute of Marine Engineering, Science and Technology. Journal of Marine Engineering and Technology)
巻： 19  号： 4  ページ： 207-214  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0278B  ISSN： 2046-4177  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 海洋水路調査で用いた圧力センサは,深海検出,津波予測および海洋工学のための重要な装置である。成熟技術プロセスと低生産コストのため,シリコンピエゾ抵抗センサは産業圧力測定の分野で広く適用されている。しかし,その温度効果は無視できない動的誤差をもたらし,深海環境の要求を満たすことができない。応力カップ構造に基づくシリコンオンサファイア圧力センサを提示した。出力電圧値は温度ドリフトにより-6~50°Cの範囲で高い偏差を示した。この温度効果を最小化するために,温度補償アルゴリズムを提案し,フルスケール60MPa範囲で0.03%の精度を実現した。深海実験における参照市販センサと比較して,試験圧力センサは,わずかな誤差,優れた類似性およびコヒーレンスを示した。この数値法は,環境自己適応センサのための新しい研究方向を提供する。このセンサが,無人長期海洋観測システムで良好な応用展望を有することを強調できる。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 圧力測定 ,  *アルゴリズム ,  コヒーレンス ,  製造原価 ,  ケイ素 ,  温度補償 ,  海洋観測 ,  温度依存性 ,  *海洋 ,  水路 ,  海洋工学 ,  深海
準シソーラス用語： *圧電抵抗 ,  温度ドリフト ,  出力電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 海洋開発用機器  (QE05010W)

タイトルに関連する用語 (6件)： 海洋 ,  ピエゾ抵抗 ,  圧力センサ ,  温度特性 ,  補償 ,  アルゴリズム