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J-GLOBAL ID：202002255497752390   整理番号：20A0079685

非ベクトル空間制御に基づくナノ計測によるAFMチップ横方向位置決め変動性の特性化【JST・京大機械翻訳】

Characterizing AFM Tip Lateral Positioning Variability Through Non-Vector Space Control-Based Nanometrology

著者 (7件)： Sun Zhiyong (Department of Industrial and Manufacturing Systems Engineering, The University of Hong Kong, Pokfulam, Hong Kong) ,  Cheng Yu (Department of Electrical and Computer Engineering, Michigan State University, East Lansing, MI, USA) ,  Xi Ning (Department of Industrial and Manufacturing Systems Engineering, The University of Hong Kong, Pokfulam, Hong Kong) ,  Yang Ruiguo (Department of Mechanical and Materials Engineering, University of Nebraska-Lincoln, Lincoln, NE, USA) ,  Yang Yongliang (Department of Electrical and Computer Engineering, Michigan State University, East Lansing, MI, USA) ,  Chen Liangliang (Shenzhen Academy of Robotics, Shenzhen, China) ,  Song Bo (Institute of Intelligent Machines, Hefei Institute of Physical Science, CAS, Hefei, China)
資料名： IEEE Transactions on Nanotechnology  (IEEE Transactions on Nanotechnology)
巻： 19  ページ： 56-60  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1355A  ISSN： 1536-125X  CODEN： ITNECU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)に基づくナノテクノロジーは,ナノメートル空間分解能,液体環境への適応性,種々のナノ機械的/電気的計測法などの圧倒的な利点に照らして,数十年にわたり様々な分野で広く実施されてきた。AFMはナノメータ分解能までのイメージング能力を有するが,既存のシステム変動性,特に熱ドリフトによりナノメートルレベルの位置決め精度を達成することは困難であり,比較的長い捕獲時間を通してAFM画像を歪ませる。AFM画像は,正確な測定と操作のために,そのチップを望ましい位置にナビゲートするための全体的参照マップとして典型的に利用されるので,システム可変性歪画像は実験結果を明確に多様化する。したがって,より良い実験結果評価と意思決定のために位置決め変動性を特徴付けることが必要である。AFM位置決め誤差を評価するための種々の手法が提案されているが,著者らの最良の知識に対して,その位置決め変動性を正確かつ系統的に特徴付ける研究はほとんどない。本研究では,非ベクトル空間(NVS)ナビゲーション手法と共に,特徴のない螺旋局所走査戦略を開発することにより,AFMチップ位置決め変動性を定量的に測定するための普遍的な計測手法を提案した。実証として,提案したナノ計測法を,特定のAFMプラットフォーム上で行い,その位置決め特性を明らかにした。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 捕獲 ,  適応性 ,  原子間力顕微鏡 ,  ナノテクノロジー ,  走査 ,  キャラクタリゼーション ,  多様化 ,  分解能 ,  位置決め ,  空間分解能 ,  *ベクトル空間 ,  意思決定 ,  画像処理
準シソーラス用語： 熱ドリフト ,  ナノマシン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： ベクトル空間 ,  ナノ計測 ,  AFMチップ ,  横方向 ,  変動性 ,  特性化