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J-GLOBAL ID：202002256043756270   整理番号：20A2181525

原子間力顕微鏡・光導波路型表面プラズモン共鳴複合法による薄膜構造評価

Evaluation of Thin Film Structure Using a Combination System of Atomic Force Microscope and Waveguide-based Surface Plasmon Resonance Spectroscopy

著者 (6件)： 浪岡俊輔 (新潟大) ,  LERTVACHIRAPAIBOON Chutiparn (新潟大) ,  大平泰生 (新潟大) ,  馬場暁 (新潟大) ,  新保一成 (新潟大) ,  加藤景三 (新潟大)
資料名： 電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集(CD-ROM)  (電気学会基礎・材料・共通部門大会(CD-ROM))
巻： 2020  ページ： ROMBUNNO.2-P-D-15  発行年： 2020年08月18日 
JST資料番号： L3783B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・表面プラズモン法(SPR)法と原子間力顕微鏡(AFM)の両方を複合同時測定できるシステムのを構築し,詳細な薄膜評価を可能にし,構築したシステムによる同時測定を試行。
・ガラス基板に膜厚50nmのAgと100nmのポリビニールアルコール(PVA)薄膜を堆積して光導波路型SPR試料とし,AFMスキャナー上に配置。
・ガラス基板の端面から白色光を入射し,Ag上での表面プラズモンを励起し,ガラス基板の逆側の端面に鏡となるAgを堆積しておき,戻り光によるSPR測定を実施。
・湿度が異なる窒素ガスを試料表面に導入し,PVAの吸湿に伴うSPRと表面構造の変化を調査。

シソーラス用語： 原子間力顕微鏡 ,  光導波路 ,  *表面プラズモン ,  プラズマ共鳴 ,  *構造解析 ,  薄膜 ,  ポリビニルアルコール ,  吸湿性 ,  表面構造 ,  *顕微鏡観察 ,  同時計測 ,  表面プラズモン共鳴法 ,  構造
準シソーラス用語： 構造評価

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  固体プラズマ  (BM02160W)

引用文献 (1件)：

• 大津元一・河田聡・井上徹:「ナノ光学ハンドブック」 朝倉書店 平成12年度

タイトルに関連する用語 (5件)： 原子間力顕微鏡 ,  光導波路 ,  表面プラズモン共鳴 ,  薄膜 ,  構造評価