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J-GLOBAL ID：202002256243639330   整理番号：20A2239383

潮解性酸化物を利用したペロブスカイト酸化物に対する微細加工・転写プロセス

Micro-patterning and transferring process for perovskite oxides by using deliquescent oxide

著者 (6件)： 小暮秀伍 (金沢大 理工) ,  橋本歩 (石川工高専) ,  吉本智貴 (金沢大 理工) ,  徳田規夫 (金沢大 ナノマリ研) ,  山田悟 (石川工高専) ,  川江健 (金沢大 理工)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.15a-D311-5  発行年： 2020年02月28日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【はじめに】 近年、多様なペロブスカイト酸化物に対し、格子整合性に優れる水溶性酸化物Sr3Al2O6(SAO、cubic、a=15.844Å、Pa-3)を利用した異種基板上へのペロブスカイト酸化物薄膜の転写技術に関する検討が報告されている1...【本文一部表示】

シソーラス用語： X線回折 ,  半導体 ,  *酸化物 ,  光学顕微鏡 ,  非晶質 ,  チタン酸ストロンチウム ,  レジスト ,  *微細加工 ,  単相 ,  フォトリソグラフィー ,  パターン形成 ,  脂肪族ケトン
準シソーラス用語： ミクロパターン形成 ,  リフトオフ ,  犠牲層 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： アセトン

タイトルに関連する用語 (5件)： 潮解 ,  酸化物 ,  ペロブスカイト ,  微細加工 ,  転写プロセス