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J-GLOBAL ID：202002256272288969   整理番号：20A0424723

アルミニウム電気熱駆動U字型マイクロピンセットの研究【JST・京大機械翻訳】

A study for an aluminum electro-thermally actuated U-shaped microtweezer

著者 (7件)： Voicu R-C (National Institute for Research and Development in Microtechnologies-IMT Bucharest, Erou Iancu Nicolae str., 126A, 077190, Romania) ,  Pustan M (Technical University of Cluj-Napoca, Faculty of Building Machine, 103-105, Bd. Muncii, 400641, Cluj-Napoca, Romania) ,  Birleanu C (Technical University of Cluj-Napoca, Faculty of Building Machine, 103-105, Bd. Muncii, 400641, Cluj-Napoca, Romania) ,  Gavrila R (National Institute for Research and Development in Microtechnologies-IMT Bucharest, Erou Iancu Nicolae str., 126A, 077190, Romania) ,  Romanitan C (National Institute for Research and Development in Microtechnologies-IMT Bucharest, Erou Iancu Nicolae str., 126A, 077190, Romania) ,  Tutunaru O (National Institute for Research and Development in Microtechnologies-IMT Bucharest, Erou Iancu Nicolae str., 126A, 077190, Romania) ,  Cismaru A (National Institute for Research and Development in Microtechnologies-IMT Bucharest, Erou Iancu Nicolae str., 126A, 077190, Romania)
資料名： IOP Conference Series: Materials Science and Engineering  (IOP Conference Series: Materials Science and Engineering)
巻： 724  号： 1  ページ： 012053 (6pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5559A  ISSN： 1757-8981  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,MEMSの製造に使用するために異なる厚さの2つのアルミニウム層の研究と,マイクロ操作応用に指定されたマイクロピンセットの設計,シミュレーション,製作および特性化を提示した。MEMSデバイスの挙動を記述するために,電気-熱機械有限要素シミュレーションを行った。表面マイクロマシニングプロセスにより,構造材料としてアルミニウム中にマイクロピンセットを作製した。原子間力顕微鏡(AFM),X線回折システム(XRD)および走査Electron顕微鏡(SEM)特性化ツールによる構造材料の異なるキャラクタリゼーションを提示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  構造材料 ,  キャラクタリゼーション ,  走査 ,  原子間力顕微鏡 ,  *アルミニウム ,  MEMS
準シソーラス用語： 有限要素シミュレーション ,  *ピンセット ,  マイクロ操作 ,  *熱駆動 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： アルミニウム ,  熱駆動 ,  U字型 ,  ピンセット ,  研究