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J-GLOBAL ID：202002256453243253   整理番号：20A0277574

アゾ及び金属ナノメッシュの複合電極による性能を向上させた高屈曲性,安定性及び透明キャパシタ【JST・京大機械翻訳】

Highly flexible, stable and transparent capacitors with enhanced performances by composite electrodes of AZO and metallic nanomeshes

著者 (9件)： Guo Tao (Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Zhang Guozhen (Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Zhang Heng (Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Su Xi (Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Chen Xue (Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Wan Jiaxian (Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Wu Hao (Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Wu Hao (Hubei Nuclear Solid Physics Key Laboratory, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, China) ,  Liu Chang (Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, 430072, China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 819  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnO:Al(AZO)とCr-Auナノメッシュおよび誘電体ZrO_2膜から成る複合電極を有する透明で柔軟なキャパシタをプラスチック基板上に直接調製した。透明複合材料電極は,超低シート抵抗(5.6Ω平方2乗~1)と良好な曲げ特性を示した。ZrO_2薄膜を原子層堆積により成長させ,誘電層として用いた。コンデンサは,AZO電極を持つコンデンサ(9.8fFμm~2)より高いキャパシタンス密度(17.8fFμm~2)を示したが,低リーク電流密度(1Vで1.3×10~9Acm-2)を維持した。さらに,品質因子は,Cr-Auナノメッシュの組込みにより1MHzの周波数で9.6から80.5に増加し,電力消費を大幅に低減した。さらに重要なことに,複合電極を有するコンデンサは優れた曲げ性,良好なサイクル安定性,および比較的高い透明性を示した。したがって,それは,透明,柔軟,高性能,低コスト集積回路の開発における応用のための有望な経路である。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 静電容量 ,  誘電体 ,  集積回路 ,  薄膜 ,  複合材料 ,  酸化亜鉛 ,  *コンデンサ ,  透明導電膜 ,  シート抵抗 ,  屈曲度 ,  電力消費
準シソーラス用語： 品質因子 ,  絶縁層 ,  *複合電極 ,  *ナノメッシュ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 透明導電膜 ,  フレキシブル電子デバイス ,  コンデンサ ,  原子層堆積

分類 (2件)： 静電機器  (NB10020R) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノメッシュ ,  複合電極 ,  屈曲性 ,  安定性 ,  キャパシタ