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J-GLOBAL ID:202002256516363594   整理番号:20A0780483

高付加価値を生む精密研磨の最新技術動向 単結晶Siレンズの非球面レンズ創成研磨

著者 (2件):
資料名:
巻: 68  号:ページ: 28-31  発行年: 2020年04月01日 
JST資料番号: F0145A  ISSN: 0451-9396  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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・コスト削減と高精度化を実現するため,ダイヤモンドホイール(砥石)による非球面研磨と空気圧を用いた均等研磨で構成されるプロセスを実施し,検討したので紹介。
・本実験では,空気圧を利用した軟質なポリシャを有する均等研磨装置により,研削加工で前加工した非球面Siレンズの均等研磨加工を行い,その形状精度と表面粗さを評価。
・本実験の結果,本提案のプロセスは,非球面Siレンズの仕上げにおいて有効であることが判明。
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