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J-GLOBAL ID：202002257350026593   整理番号：20A0056686

クラスタ衝撃堆積によるSi基板表面に結合したサイズ選択Ptクラスタの形状制御【JST・京大機械翻訳】

Geometry control of size selected Pt clusters bound to Si substrate surface by cluster impact deposition

著者 (2件)： Fukui Nobuyuki (East Tokyo Laboratory, Genesis Research Institute, Inc., 717-86 Futamata, Ichikawa, Chiba 272-0001, Japan) ,  Yasumatsu Hisato (Cluster Research Laboratory, Toyota Technological Institute: in East Tokyo Laboratory, Genesis Research Institute, Inc., 717-86 Futamata, Ichikawa, Chiba 272-0001, Japan)
資料名： Journal of Chemical Physics  (Journal of Chemical Physics)
巻： 151  号： 22  ページ： 224309-224309-7  発行年： 2019年 
JST資料番号： C0275A  ISSN： 0021-9606  CODEN： JCPSA6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン基板上に担持された白金クラスタ,Pt_N(N=30~71)の形状を調べ,幾何構造を制御することを目的とした。担持されたクラスタは,与えられた衝突エネルギー(クラスタ衝撃堆積)で基板上にサイズ選択されたPt_N+の衝突によって調製され,それらの幾何学は走査型トンネル顕微鏡によって観察された。Pt原子当たり1eVの衝突エネルギーにおいてさえ,Pt_N(N=30と45)とSi基板の間の十分強いPt-Si相互作用は,N=60では,N=71で増加する単原子層形状の他に多層形状が存在する。衝突エネルギーが増加すると,クラスタとSi基板の間の界面に位置するSi原子がクラスタに溶解し,衝突エネルギーがさらに増加すると,Pt-Siクラスタは部分的に基板に注入される。衝突エネルギーとクラスタサイズによる担持クラスタの形状の遷移をクラスタ衝撃によるクラスタと基板表面の変形に従って説明した。その断面積当たりのPt_N+の運動量は,PtおよびSiのような強いクラスタ-担体相互作用の場合に,幾何学を制御するための良好な指標であることを提案した。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 幾何学 ,  *衝撃 ,  *ケイ素 ,  多層 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  界面 ,  *形状制御 ,  断面積 ,  相互作用 ,  衝突エネルギー ,  *クラスタ ,  運動量 ,  単原子層 ,  *白金 ,  *シリコンウエハ ,  *サーボ制御

分類 (2件)： 無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

タイトルに関連する用語 (7件)： クラスタ ,  衝撃 ,  堆積 ,  Si基板 ,  サイズ ,  PT ,  形状制御