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J-GLOBAL ID：202002258091455459   整理番号：20A0589470

CCOSによる大口径空間フィルタレンズの透過波面GRMの修正技術に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Research on the technology of correcting the transmitted wavefront GRMS of large-diameter spatial filter lens by CCOS

著者 (6件)： Li Zhigang (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China)) ,  Bao Zhenjun (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China)) ,  Zhu Heng (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China)) ,  Cui Jianpeng (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China)) ,  Wu Dilong (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China)) ,  Ma Ping (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11427  ページ： 1142743-6  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大規模高出力レーザ素子に対して,透過波面勾配二乗平均二乗(GRMS)は,球面レンズの低周波歪を評価するための最も重要な指標の一つである。本論文において,大口径空間フィルタレンズの低周波誤差指数要求のために,複合ツールに基づく適合研磨方法を球状CCOS研磨段階において提案した。光学部品の検出結果に基づいて,GRMS分布を低域フィルタリングによって分離して,GRMSの高い値を,研磨経路と滞留時間を決定するためにK-平均アルゴリズムによって分割した。理想的なGRMS収束除去機能を得るために,複合材料適合研磨ツールを設計し,研磨工具構造と研磨応力分布のシミュレーション解析を行い,パラメータを最適化した。いくつかの440×440サイズの空間フィルタレンズの実験と生産検証の後,結果は,GRMSが7nm/cm以下に急速に収束でき,収束速度が従来のCNC研磨と比較して約50%改善されることを示した。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 複合材料 ,  滞留時間 ,  低域フィルタ ,  LF【周波数】 ,  高出力レーザ ,  *波面 ,  シミュレーション ,  アルゴリズム ,  大口径 ,  研磨 ,  応力分布 ,  *レンズ ,  *空間フィルタ ,  最適化
準シソーラス用語： 光学部品 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ホログラフィー一般  (BD03071V) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大口径 ,  空間フィルタ ,  レンズ ,  研究