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J-GLOBAL ID：202002258521122378   整理番号：20A0283728

機械加工振動とその測定法【JST・京大機械翻訳】

Machining vibration and methods of their measurement

著者 (4件)： Spina M. (Institute of Plasma Physics of the CAS, v.v.i. (Czech Republic)) ,  Benes J. (Institute of Plasma Physics of the CAS, v.v.i. (Czech Republic)) ,  Prochaska F. (Institute of Plasma Physics of the CAS, v.v.i. (Czech Republic)) ,  Matousek O. (Institute of Plasma Physics of the CAS, v.v.i. (Czech Republic))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11385  ページ： 113850J-12  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 今日,非球面要素は現代の高精度光学組立の不可欠な部分になっている。いくつかの種類の欠陥がそれらの製造中に発生する。非常に正確な非球面表面が関係する限り,中間空間周波数はおそらく最も重要な問題である。このタイプの不整は形状(低空間周波数)と微小粗さ(高空間周波数)の間のギャップを満たす。これらの欠陥の小さな部分は研磨中に生じた。しかし,それらの多くは研削過程で発生する。機械における異なる制御周波数の干渉と研削機械の構成解における不完全性のために,欠陥は光学表面上に発生し,それを変形させる。これらの欠陥の期間は,通常,加工プロセスのパラメータに依存して,0.5~10mmの間隔にある。これらの構造の発生を防ぐために,測定装置VibXpert IIを用いて,振動の発生源と伝達の包括的な測定を実現した。測定は粉砕機Optotech MCG100CNCで行った。異なるタイプのプロセスのいくつかのシミュレーションを実現し,非球面光学表面の実際の研削プロセス中に測定を行った。振動の測定から得られたデータを周波数空間で数学的に処理した。実験は,これらの欠陥のいくつかの理由を明らかにした。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 研磨 ,  研削 ,  不整 ,  粉砕機 ,  空間周波数 ,  計測器 ,  *機械工作
準シソーラス用語： 発生源 ,  光学表面 ,  研削工具 ,  高精度 ,  非球面 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 機械加工 ,  測定法