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J-GLOBAL ID：202002258601748425   整理番号：20A0970602

空間光変調技術を用いた高精度・高スループットレーザー加工技術と実用化プラットフォームの構築

著者 (2件)： 早崎芳夫 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ) ,  長谷川智士 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ)
資料名： 光技術コンタクト  (Optical and Electro-Optical Engineering Contact)
巻： 58  号： 4  ページ： 19-27  発行年： 2020年04月20日 
JST資料番号： S0624A  ISSN： 0913-7289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・フェムト秒レーザー加工は,半導体素子やセラミックスの切断や超微細穴加工,光検出素子の表面上へのナノ構造形成などに利用。
・フェムト秒レーザー加工では,圧倒的な安価でその光学素子に必要な性能と機能を実現するか,フェムト秒レーザー加工でしか実現できない性能と機能を実現することが重要。
・これまでにない光学素子や,既存加工技術の10倍以上の性能を創造するために空間光変調技術について検討。
・本稿では,空間光変調器(SLM)などの空間光変調技術を用いたフェムト秒レーザー加工技術について解説。
・ホログラフィーレーザー加工を有効に使う方法を述べ,実際のSLMの性能の現状について説明。
・SLMの特性を考慮し,実装するCGHの最適化法や,ホログラフィーレーザーシステム最適化による高精度並列ビームの生成と加工への適用も説明。

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  精密加工 ,  機械要素 ,  実用化 ,  スループット ,  *フェムト秒レーザ ,  最適化 ,  レーザシステム ,  *空間光変調素子 ,  ホログラフィー ,  ホログラム ,  半導体素子 ,  ナノ構造 ,  光変調素子 ,  光学素子 ,  構造形成
準シソーラス用語： システム最適化 ,  プラットフォーム【機械】

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (19件)：

• E. N. Glezer, M. Milosavljevic, L. Huang, R. J. Finlay, T.-H. Her, J. P. Callan, and E. Mazur, ′′Three-dimensional optical storage inside transparent materials,′′ Opt. Lett. 21, 2023-2025 (1996)
• K. M. Davis, K. Miura, N. Sugimoto, and K. Hirao, ′′Writing waveguides in glass with a femtosecond laser,′′ Opt. Lett. 21, 1729-1731 (1996).
• Hong-Bo Sun, Shigeki Matsuo and Hiroaki Misawa, ′′Three-dimensional photonic crystal structures achieved with two-photon-absorption photopolymerization of resin,′′ Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
• Y. Hayasaki, T. Sugimoto, A. Takita, and N. Nishida, ′′Variable holographic femtosecond laser processing by use of a spatial light modulator,′′ Appl. Phys. Lett. 87, 031101 (2005).
• N. Sanner, N. Huot, E. Audouard, C. Larat, J. P. Huignard, and B. Loiseaux, ′′Programmable focal spot shaping of amplified femtosecond laser pulses,′′ Opt. Lett. 30, 1479-1481 (2005).

タイトルに関連する用語 (6件)： 光変調 ,  高スループット ,  レーザー加工 ,  実用化 ,  プラットフォーム ,  構築