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J-GLOBAL ID：202002258773263526   整理番号：20A0844804

中赤外線レーザの開発とレーザオートコリメーション法への適用

著者 (5件)： 松隈啓 (東北大 大学院工学研究科) ,  阿隅結夢 (東北大 大学院工学研究科) ,  長岡将史 (東北大 大学院工学研究科) ,  清水裕樹 (東北大 大学院工学研究科) ,  高偉 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2020  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.J49  発行年： 2020年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： レーザオートコリメーション法は非接触光学式精密角度計測法である.これまで表面形状計測や,真直度計測などに用いられてきているが,反射面に高い反射率が必要とされるため,粗い表面の計測はできなかった.反射率と表面粗さには相関があることが知られており,粗い表面に対しては,長い波長のレーザを用いれば,測定が可能になる.そこで,中赤外線レーザを開発し,レーザオートコリメーション法への適用を試みた.(著者抄録)

シソーラス用語： *赤外レーザ ,  *コリメーション ,  *角度測定 ,  反射面 ,  反射率 ,  表面粗さ ,  赤外線 ,  フッ化物 ,  繊維 ,  ナイフエッジ ,  熱電対 ,  中赤外線 ,  LWIR【赤外線】
準シソーラス用語： サーモパイル ,  長波長赤外線 ,  非接触

分類 (2件)： レーザ一般  (BD04030T) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (10件)：

• W. Gao, “Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing”, Springer (2010).
• W. Gao, S. W. Kim, H. Bosse, H. Haitjema, Y. L. Chen, X. D. Lu, W. Knapp, A. Weckenmann, W. T. Estler and H. Kunzmann, CIRP Annals, 64(2), 773-796 (2015)
• A. E. Ennos and M. S. Virdee, Precis. Eng., 4(1), 5-8 (1982).
• Y. Shimizu, S.L. Tan, D. Murata, T. Maruyama, S. Ito, Y.L. Chen and W. Gao, Opt. Exp., 24, 2788-2805 (2016).
• S. Duval, M. Bernier, V. Fortin, J. Genest, M. Piche and R. Vallee, Optica, 2, 623-626 (2015).

タイトルに関連する用語 (3件)： 中赤外線 ,  レーザ ,  開発