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J-GLOBAL ID：202002259727405708   整理番号：20A0901045

人工神経回路網を用いた単一チップ上の流れと熱伝導率の同時検出【JST・京大機械翻訳】

Simultaneous Flow and Thermal Conductivity Sensing on a Single Chip Using Artificial Neural Networks

著者 (4件)： Gardner Ethan L. W. (Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge, U.K.) ,  Vincent Timothy A. (Flusso Ltd., Cambridge, U.K.) ,  De Luca Andrea (Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge, U.K.) ,  Udrea Florin (Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge, U.K.)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 20  号： 9  ページ： 4985-4991  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜CMOS MEMS熱センサを設計し,作製し,膜貫通分離孔の添加により試験した。これらの孔は,流れの存在下で異なる熱伝導率を有するガスに対する識別を強化することが示された。入力として3つのオン膜抵抗器を用いて,人工ニューラルネットワークパターン認識技術に沿った線形統計法を,単一センサを用いて熱伝導率と流速の2つのパラメータを分離するために研究した。これに加えて,膜孔の添加は,流速に対する感度を10倍,熱伝導率に対する感度を2倍増加させた。良く知られた後処理技術と結合したこのセンサ設計は,新しい世代のマルチパラメータセンシングソリューションを可能にする。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *熱伝導率 ,  薄膜 ,  パターン認識 ,  *ニューラルネットワーク ,  統計的方法 ,  流速 ,  後処理 ,  線形性 ,  センサ ,  MEMS ,  CMOS
準シソーラス用語： 膜抵抗 ,  *同時検出 ,  熱センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 温度測定,温度計  (AD06010K) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  分析機器  (CC02020S) ,  屈折及び反射の測定と装置  (BD07060V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 人工神経回路網 ,  流れ ,  熱伝導率 ,  同時検出