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J-GLOBAL ID：202002259899567880   整理番号：20A2705408

ラジオ周波数マグネトロンスパッタリングによる動作電力と圧力の変動におけるV_2O_5の分光学的プラズマ診断【JST・京大機械翻訳】

Spectroscopic plasma diagnosis of V₂O₅ at a Variable of Operating Power and Pressure With Radio Frequency Magnetron Sputtering

著者 (2件)： salman Ibrahim. Khalaf. (Department of Physics, College of Education, Tikrit University) ,  Mohammed Mohammad Shareef (Tikrit, Iraq Education Mission. Education Department. Salah al-Din. Iraq)
資料名： IOP Conference Series: Materials Science and Engineering  (IOP Conference Series: Materials Science and Engineering)
巻： 928  号： 7  ページ： 072150 (7pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5559A  ISSN： 1757-8981  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,ターゲットV_2O_5を用いた「マグネトロンスパッタリングプラズマ」の基本特性を調べた。「無線周波数(RF)」電源とArgonガスを用いて「マグネトロンスパッタリングプラズマ」を作製した。「発光分光光度計」を用いて測定したプラズマ中の原子とラジカルからの発光の強度と,全てのパターンで現れたピークは,NISTデータベースからの標準線に整合し,用いたプラズマパラメータを推定し,電子温度と電子密度を計算した。多重放電プロビジョンにおけるV_2O_5スパッタリングプラズマの特性を,75~150Wattとガス圧(0.1,0.08)mbarの範囲の「ラジオ周波数」(RF)パワーで研究した。1つは,スパッタリングパワーの増加とともに,発光線の強度が増加することを示した。0.1から0.08mbarの排出ガス圧が過剰であるとき,電子温度が0.95eVから1.11eVまで劇的に過剰であることを見出した。一方,スパッタリング電力を100から125Wattに増加させると,0.9から1.01eVまでの過剰電子温度は,スパッタリングパワーの増加と共に5.9×1014から4.5×1014cm-3に低下し,電子密度は,圧力0.08mbarで,4.25×1014から2.80×1014cm-3への圧力の増加とともに減少し,電子密度最大値は5.9×1014であった。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プラズマ ,  スパッタリング ,  電子温度 ,  電子密度 ,  発光 ,  *プラズマ診断 ,  分光光度計 ,  放電 ,  ラジカル ,  データベース ,  *電力 ,  多重化 ,  プラズマパラメータ
準シソーラス用語： 無線周波数 ,  ガス圧 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (4件)： ラジオ ,  マグネトロンスパッタリング ,  分光学 ,  プラズマ診断