文献

J-GLOBAL ID：202002259982914042   整理番号：20A0916260

単一高分子センシング膜を用いた微細加工質量感応性および容量性化学センサ【JST・京大機械翻訳】

Micromachined Mass-Sensitive and Capacitive Chemical Multisensor Using Single Polymeric Sensing Film

著者 (3件)： Schwartz Steven A. (School of Electrical and Computer Engineering, Georgia Institute of Technology,Atlanta,GA,USA) ,  Brand Oliver (School of Electrical and Computer Engineering, Georgia Institute of Technology,Atlanta,GA,USA) ,  Beardslee Luke A. (Naval Submarine Medical Research Laboratory,Groton,CT,USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： MEMS  ページ： 721-724  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 同じ高分子センシング膜における質量と誘電特性変化を同時に検出する新しい微細加工化学マルチセンサを示した。このマルチセンサは,容量センシングのために,半円型,半円形円環を有する質量敏感共鳴センサ,および埋め込まれたオン共振器交差指電極構造から構成されている。共鳴化学センサは高Q面内共鳴モードを利用し,揮発性有機化合物に対する100万の検出限界を可能にした。埋め込まれた容量センサは,質量感度と容量性センサ信号の間の比を評価することによって,トルエンとメタノールの間の識別を可能にする。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 共振器 ,  共鳴 ,  誘電性 ,  感受性 ,  *高分子 ,  検出限界 ,  センサ ,  *微細加工 ,  化学センサ ,  揮発性有機化合物 ,  脂肪族アルコール ,  アルキルベンゼン
準シソーラス用語： 交差指電極 ,  共振モード ,  マルチセンサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

物質索引 (2件)： メタノール ,  トルエン

タイトルに関連する用語 (7件)： 高分子 ,  センシング ,  微細加工 ,  質量 ,  感応性 ,  容量性 ,  化学センサ