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J-GLOBAL ID：202002260009692022   整理番号：20A2052183

フェムト秒レーザ光源を用いた角度センサによる形状計測に関する研究-マルチビーム角度センサの設計と基礎特性評価-

Feasibility study on an encoder system employing a micro thermal sensor head

著者 (6件)： 清水裕樹 (東北大) ,  高園翔太 (東北大) ,  神田悠利 (東北大) ,  松隈啓 (東北大) ,  稲場肇 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2020  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.D0205  発行年： 2020年08月20日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,モード同期フェムト秒レーザを光源として用いた光学式角度センサが提案されており,レーザ内に含まれる複数モード利用による測定レンジの拡大等が実現されている.本報では,このモード同期フェムト秒レーザを光源として用いた光学式角度センサ光学系を設計・試作し,その基礎特性を実験的に評価した結果について報告する.(著者抄録)

シソーラス用語： センサ ,  *フェムト秒レーザ ,  レーザパルス ,  形状測定 ,  モード同期レーザ ,  拡大 ,  光センサ ,  計測器 ,  *回折格子 ,  面 ,  スペクトルアナライザ ,  ビーム ,  フェムト秒レーザパルス ,  *角度センサ ,  鏡面
準シソーラス用語： レンジ拡大 ,  形状計測 ,  光学センサ

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (5件)：

• P. de Groot, Appl. Opt., 34 (1995) 2856-2863.
• W. Gao et al. Precis. Eng., 26 (2002) 396-404.
• 近藤余範, 産総研計量標準報告, 8, 3 (2011) 299-310.
• Y. Chen, Y. Shimizu et al.: Precision Engineering, 54 (2018) 284-293.
• Y. Shimizu, S. L. Tan et al.: Optics Express, 4, 3 (2016) 2788-2805.

タイトルに関連する用語 (9件)： フェムト秒 ,  レーザ光源 ,  角度センサ ,  形状計測 ,  研究 ,  マルチビーム ,  設計 ,  基礎 ,  特性評価