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J-GLOBAL ID：202002260206075772   整理番号：20A1027805

酸素イオンと遷移金属との近閾値,定常状態相互作用:スパッタリングと放射線増強拡散【JST・京大機械翻訳】

Near-threshold, steady state interaction of oxygen ions with transition metals: Sputtering and radiation enhanced diffusion

著者 (5件)： Phadke Parikshit (Industrial Focus Group XUV Optics, MESA+ Institute for Nanotechnology, University of Twente, Drienerlolaan 5, 7522NB Enschede, the Netherlands) ,  Stilhano Vilas Boas Cristiane R. (Industrial Focus Group XUV Optics, MESA+ Institute for Nanotechnology, University of Twente, Drienerlolaan 5, 7522NB Enschede, the Netherlands) ,  Sturm Jacobus M. (Industrial Focus Group XUV Optics, MESA+ Institute for Nanotechnology, University of Twente, Drienerlolaan 5, 7522NB Enschede, the Netherlands) ,  van de Kruijs Robbert W.E. (Industrial Focus Group XUV Optics, MESA+ Institute for Nanotechnology, University of Twente, Drienerlolaan 5, 7522NB Enschede, the Netherlands) ,  Bijkerk Fred (Industrial Focus Group XUV Optics, MESA+ Institute for Nanotechnology, University of Twente, Drienerlolaan 5, 7522NB Enschede, the Netherlands)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 518  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体,フォトリソグラフィー及び融合応用に用いられる遷移金属は低エネルギー酸素イオンと相互作用する。エロージョン,形成された酸化物の性質および酸素輸送の深さを理解することは,センサ,光学またはプラズマ対向成分の予想外の性能を緩和するのに必要である。酸化物形成はイオン-ターゲット結合と入射イオンエネルギーの両方によって支配される。50~500eVのエネルギー領域における酸素イオンと遷移金属モリブデン, ルテニウム, パラジウムとタングステンの相互作用を調べた。金属の近閾値スパッタリングを実験的に測定し,モンテカルロコードTRIDYNによる予測と比較した。スパッタリング後の組成変化と酸化物厚さを,角度分解X線光電子分光法を用いて測定し,次に,原子状酸素曝露によって形成された制限酸化物と比較した。いくつかのケース(ルテニウム)におけるスパッタ収率は,化学スパッタリングに導くオゾン(バックグラウンドガスの<1%)のようなイオンビーム不純物に敏感であることが分かった。イオン誘起酸化物の厚さ(モリブデンとタングステンに対して)は,スパッタリングが注入によってバランスされる弾道輸送によって予測されるものよりも大きいことが分かった。自由酸素の放射増強拡散が低イオンエネルギーでより厚い酸化膜をもたらすと仮定した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *イオン ,  イオンビーム ,  酸化 ,  プラズマ ,  *相互作用 ,  半導体 ,  不純物 ,  *酸素 ,  タングステン ,  パラジウム ,  モリブデン ,  ルテニウム ,  酸化物 ,  オゾン
準シソーラス用語： *酸素イオン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 近閾値 ,  酸化 ,  スパッタ収率 ,  遷移金属 ,  放射線増強拡散 ,  トリジン

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (9件)： 酸素イオン ,  遷移金属 ,  閾値 ,  定常状態 ,  相互作用 ,  スパッタリング ,  放射線 ,  増強 ,  拡散