抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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・真空におけるLeak Air量の紹介。
・運転においては機器の製作や設置にかかわる真空度保持確認に必要であり,設計においては真空機器の大きさが左右される真空におけるLeak Air量。
・装置内圧力と系の容積の関数として表したHeat Exchange InsituteのLeak Air量が標準的に用いられる真空ポンプやエジェクター設計ベースとなるLeak Air量。
・シール,ガスケットやバルブなどの個々のフィッティングリークを加算する真空機器Leak。