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J-GLOBAL ID：202002260575997794   整理番号：20A1704228

固体積層ニオブ酸リチウム薄膜に基づく低損失音響遅延線【JST・京大機械翻訳】

Low Loss Acoustic Delay Lines Based on Solidly Mounted Lithium Niobate Thin Film

著者 (2件)： Tseng Kuan-Ju (Department of Power Mechanical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan) ,  Li Ming-Huang (Department of Power Mechanical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu, Taiwan)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 29  号： 4  ページ： 449-451  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,低挿入損失(IL)と広い分数帯域幅(FBW)を達成するために,固体搭載構造に基づく音響遅延線(ADL)を研究した。絶縁体(LNOI)構成上の薄膜ニオブ酸リチウムにおける誘導剪断-水平波(SH-波)を採用することによって,音響エネルギーは,低いILと広いFBWを得るために,高い圧電結合(K2)を達成するために,表面近傍で制約される。提案したADLをXカットLNOIのAu電極で設計し,1GHzまでの十分なK2>27%を得,より良いIL-FBWトレードオフを可能にした。波長(λ)が4~μm(940MHz)と6~μm(640MHz)の製作したプロトタイプADLsは,従来の双方向変換器を用いて,約10dBとFBW約9%のILを達成した。このような性能は,バッチ製造と包装のための強化された機械的ロバスト性を維持しながら,懸濁板波ADL対応物に匹敵する。[2020-0057]Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 懸濁液 ,  剪断 ,  *薄膜 ,  金 ,  バッチ生産 ,  波長 ,  圧電気 ,  挿入損 ,  帯域幅 ,  *ニオブ酸リチウム ,  ロバスト性 ,  プロトタイプ ,  絶縁体
準シソーラス用語： 音響エネルギー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 固体 ,  ニオブ酸リチウム ,  薄膜 ,  低損失 ,  音響遅延線