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J-GLOBAL ID：202002261902118728   整理番号：20A1051239

大気圧マイクロプラズマによるSiCナノ結晶成長のためのテトラメチルシランの解離【JST・京大機械翻訳】

Dissociation of tetramethylsilane for the growth of SiC nanocrystals by atmospheric pressure microplasma

著者 (5件)： Haq Atta Ul (Nanotechnology and Integrated Bioengineering Centre (NIBEC), Ulster University, Newtownabbey, UK) ,  Lucke Philip (Research Department of Plasmas with Complex Interactions, Ruhr-Universitaet Bochum, Bochum, Germany) ,  Benedikt Jan (Institute of Experimental and Applied Physics, Faculty of Mathematics and Natural Sciences, Kiel University, Kiel, Germany) ,  Maguire Paul (Nanotechnology and Integrated Bioengineering Centre (NIBEC), Ulster University, Newtownabbey, UK) ,  Mariotti Davide (Nanotechnology and Integrated Bioengineering Centre (NIBEC), Ulster University, Newtownabbey, UK)
資料名： Plasma Processes and Polymers  (Plasma Processes and Polymers)
巻： 17  号： 5  ページ： e1900243  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1950A  ISSN： 1612-8850  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大気圧マイクロプラズマによる炭化ケイ素(SiC)ナノ結晶(NC)の合成中のテトラメチルシラン(TMS)の解離後の残留ガスの質量分析について報告する。これらの結果を用いて,NCの形成機構の理解に寄与できる詳細を提供した。質量分析は,中性フラグメントの重要な役割と限られた微粒化を支持する高質量重合生成物の存在を明らかにした。これに基づいて,TMSからのメチル基の損失が水素引き抜きと共に,核形成と成長につながる重要な経路を表すことを見出した。TMS濃度とNC滞留時間の組合せは,NC平均サイズと対応する分布を制御する。より高い前駆体濃度に対して,反応速度は合体を促進するために十分に速い。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 核形成 ,  質量分析 ,  反応速度 ,  水素 ,  重合 ,  *炭化ケイ素 ,  滞留時間 ,  微粒化 ,  残留ガス ,  前駆体 ,  大気プラズマ ,  *ナノ結晶
準シソーラス用語： メチル基 ,  *大気圧マイクロプラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 大気圧プラズマ ,  質量分析 ,  ナノ結晶 ,  炭化ケイ素 ,  テトラメチルシラン

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： テトラメチルシラン

タイトルに関連する用語 (5件)： 大気圧マイクロプラズマ ,  SiC ,  結晶成長 ,  テトラメチルシラン ,  解離