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J-GLOBAL ID：202002262126729224   整理番号：20A0590293

透明電極として性能を向上させるためのインジウム-スズ酸化物薄膜のマイクロ波プラズマと急速熱処理【JST・京大機械翻訳】

Microwave plasma and rapid thermal processing of indium-tin oxide thin films for enhancing their performance as transparent electrodes

著者 (6件)： Ramadan Rehab (Universidad Autonoma de Madrid, Departamento de Fisica Aplicada, Madrid, Spain) ,  Ramadan Rehab (Minia University, Department of Physics, Faculty of Science, Minia, Egypt) ,  Abdelhady Kamal (Minia University, Department of Physics, Faculty of Science, Minia, Egypt) ,  Manso-Silvan Miguel (Universidad Autonoma de Madrid, Departamento de Fisica Aplicada, Madrid, Spain) ,  Torres-Costa Vicente (Universidad Autonoma de Madrid, Departamento de Fisica Aplicada, Madrid, Spain) ,  Martin-Palma Raul Jose (Universidad Autonoma de Madrid, Departamento de Fisica Aplicada, Madrid, Spain)
資料名： Journal of Photonics for Energy  (Journal of Photonics for Energy)
巻： 9  号： 3  ページ： 034001  発行年： 2019年 
JST資料番号： W5085A  ISSN： 1947-7988  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 要約。酸化インジウムスズ(ITO)は,その大きな透明度と高い伝導率を与えられた光電子デバイスの透明電極として広く使用されている。しかし,この材料の特殊な性質は全体の製造プロセスに大きく依存する。電子ビーム蒸着により成長させたITO薄膜に及ぼす四つの異なるポスト作製プロセスの効果を報告した。より具体的には,マイクロ波プラズマアニーリングの蒸着ITO薄膜の全体的性質,急速熱処理,および2つのプロセスの組合せに及ぼす影響を分析した。特に,アニールしたITO薄膜の形態的,化学的,光学的,電気的性質を研究した。実験結果は,ITO薄膜が不透明から透明に変わることができ,それらの伝導率が特定のポスト作製プロセスに依存して1桁改善できることを示した。Copyright 2019 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *透明電極 ,  電気的性質 ,  生産工程 ,  *RTA【熱処理】 ,  焼なまし ,  蒸着 ,  電子ビーム蒸着 ,  透明度 ,  酸化インジウムスズ ,  オプトエレクトロニクス
準シソーラス用語： 光電子デバイス ,  伝導率 ,  *マイクロ波プラズマ ,  *酸化物薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 酸化インジウムすず ,  マイクロ波プラズマアニーリング ,  急速熱処理 ,  表面形態とオプトエレクトロニクス特性

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 透明電極 ,  インジウム ,  スズ ,  酸化物薄膜 ,  マイクロ波プラズマ ,  急速熱処理