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J-GLOBAL ID:202002262328412504   整理番号:20A2314060

ナノ粒子の濃縮,組立,および検出のためのプロトンビーム描画によって製造された誘電泳動デバイス

Dielectrophoretic Devices Fabricated by Proton Beam Writing for Concentration, Assembly, and Detection of Nanoparticles
著者 (6件):
資料名:
巻: 2020  ページ: ROMBUNNO.G-3  発行年: 2020年 
JST資料番号: L8409A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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・誘電泳動(DEP)は,不均一なAC電界下でのDEP力による微粒子の方向性のある動きを伴う現象。
・ナノ粒子を組立てたり濃縮したりするために,DEPデバイス用のμmスケールのピットアレイなどの微細構造を持つポリマー表面を利用。
・PMMAなどのポリマーの微細構造化には,ポリマー材料の高アスペクト比の微細構造に直接書込リソグラフィー技術であるプロトンビーム描画(PBW)を適用。
・厚さ5~10μmのPMMA上に直径5μmの円形ピットを配列。
・水中の金属ナノ粒子のコロイド懸濁液から,PMMAピットアレイ上で金とAgナノ粒子(直径100~250nm)の収集と組立てを実証。
・環境水中のプラスチック,誘電体,金属などのマイクロ粒子やナノ粒子の検出へ本手法の適用の可能性についても説明。
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分類 (2件):
分類
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クロマトグラフィー,電気泳動  ,  固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (17件):
タイトルに関連する用語 (5件):
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