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文献
J-GLOBAL ID:202002262948219649   整理番号:20A0995748

室温抵抗の観点で評価した金ナノ粒子アレイの誘電泳動集合

Dielectrophoretic Assembly of Gold Nanoparticle Arrays Evaluated in Terms of Room-Temperature Resistance
著者 (7件):
資料名:
巻: E103.C  号:ページ: 62-65(J-STAGE)  発行年: 2020年 
JST資料番号: U0468A  ISSN: 1745-1353  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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金ナノ粒子(GNPs)は,単一電子(SE)デバイスの島電極としてしばしば使用される。GNPsを備えたSEデバイスの作製における技術的課題の1つは,2つの鉛電極間のナノギャップにGNPsを配置することにある。誘電泳動(DEP)現象の利用は,この課題に対する可能な解決策の1つであるが,DEPによる製造プロセスには確率的側面がある。本論文では,DEPにより組み立てられたGNPアレイの電気抵抗に関する実験結果を示した。試行錯誤のアプローチによりさまざまなDEP条件下で300対以上の電極を調べた。SEデバイス作製のために可能なDEP条件を示すDEP条件と組み立てられたGNPアレイの電気抵抗との関係を評価した。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
分類
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半導体集積回路 
引用文献 (22件):

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