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J-GLOBAL ID：202002263257799731   整理番号：20A0793285

W-C:Hコーティングの水素化,硬度及び弾性率に及ぼす堆積条件の影響【JST・京大機械翻訳】

The effects of deposition conditions on hydrogenation, hardness and elastic modulus of W-C:H coatings

著者 (4件)： Lofaj Frantisek (Institute of Materials Research of the Slovak Academy of Sciences, Watsonova 47, 040 01 Kosice, Slovakia) ,  Kabatova Margita (Institute of Materials Research of the Slovak Academy of Sciences, Watsonova 47, 040 01 Kosice, Slovakia) ,  Kvetkova Lenka (Institute of Materials Research of the Slovak Academy of Sciences, Watsonova 47, 040 01 Kosice, Slovakia) ,  Dobrovodsky Jozef (Advanced Technologies Research Institute, Faculty of Materials Science and Technology in Trnava, Slovak University of Technology in Bratislava, J. Bottu 25, 91724 Trnava, Slovakia)
資料名： Journal of the European Ceramic Society  (Journal of the European Ceramic Society)
巻： 40  号： 7  ページ： 2721-2730  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0801B  ISSN： 0955-2219  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高出力インパルス磁気スパッタリング(HiPIMS)と高ターゲット利用スパッタリング(HiTUS)を用いて蒸着したW-C:H被覆のハイブリッドPVD-PECVDにおけるC_2H_2,CH_4およびH_2の添加を研究し,非晶質炭素系境界相の含有量と化学組成および被覆の機械的性質に及ぼすそれらの影響を決定した。実質的な差異が観察された:CH_4は常にC_2H_2より高濃度の水素と低濃度の炭素を生成し,HiPIMSはHiTUSよりも高濃度の非晶質炭素系境界相と高レベルの水素化をもたらした。硬さと押込弾性率に及ぼす境界相の高炭素と水素含有量の有害な影響は,水素化の間のCH結合によるCC結合の消費と境界相における高分子ネットワークの架橋の減少に起因した。アセチレンと水素で堆積したHiPIMS W-C:H被覆は,H_IT/E_IT>0.1で,媒体(~20GPa)硬度と弾性係数(200~220GPa)を示し,靭性と耐摩耗性の改善を示唆した。これらの特性は,炭素系境界相における水素化,ハイブリッド化および架橋の最適組合せに起因した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 化学組成 ,  耐摩耗性 ,  *弾性係数 ,  *水素 ,  炭素 ,  *被覆 ,  靱性 ,  *水素化 ,  磁気 ,  媒質 ,  プラズマCVD ,  C-H結合 ,  アルキン
準シソーラス用語： アモルファスカーボン ,  高濃度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： W-C:Hコーティング ,  ハイブリッドPVD-PECVD ,  高出力インパルスマグネトロンスパッタリング(HIPIMS) ,  高ターゲット利用スパッタリング(HITUS) ,  水素化 ,  硬さ ,  押込係数

分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (5件)： コーティング ,  水素化 ,  硬度 ,  弾性率 ,  堆積