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J-GLOBAL ID:202002263330965902   整理番号:20A1204042

高速マイクロインプリンティングプロセスに関する実験的研究【JST・京大機械翻訳】

An experimental study on a rapid micro imprinting process
著者 (7件):
資料名:
巻: 283  ページ: Null  発行年: 2020年 
JST資料番号: H0650A  ISSN: 0924-0136  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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大面積マイクロ特徴は,多くの産業クラスタにおけるそれらの多様な機能と広大な応用の見通しのために多くの研究がなされてきた。多くの方法が開発されているにもかかわらず,曲面上に容易に適用できる柔軟な作製法は見出されていない。本研究では,周期的な動的荷重と工作物の供給を用いた急速マイクロインプリンティング(RMI)プロセスを提案し研究した。RMI実験プラットホームを最初に開発し,マイクロディンプルアレイを純銅の表面上に作製することに成功した。観察により,ミクロ特徴の形成過程を解析し,衝撃と励起段階から成ることを示した。出口段階の間に,移動刷込工具の影響部を特性化し,プラウリング影響部(PAZ)と変形影響部(DAZ)に分割した。成形結果に及ぼす工具の形状,粒径およびプロセスパラメータの包括的影響を,実験によって徹底的に調査した。工具のフィレットは成形深さを改善することができるが,マイクロディンプルの壁面積にステップ状の特徴をもたらすことが分かった。粒径の増加は成形深さを向上させることができるが,それはプラウ表面における亀裂のリスクを強化することができる。さらに,成形深さの偏差は結晶粒サイズによって変化し,工具特性の直径に近い臨界値で最高値に達することを明らかにした。これは結晶粒サイズによって影響される不均一な材料特性の観点からさらに議論された。最終的に,成形深さと望ましくない形状における送り速度とインプリンティング周波数を含むプロセスパラメータの解析に基づいて,プロセスマップをプロットして,望ましくない幾何学的形状を持つマイクロディンプルを製造するための指針を提供した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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