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J-GLOBAL ID：202002263536076966   整理番号：20A0916262

高温で寿命を高めたGa_2O_3ガスセンサのための懸濁アルミナ膜【JST・京大機械翻訳】

Suspended Alumina Membrane for GA₂O₃ Gas Sensor with Enhanced Lifetime at High-Temperature

著者 (3件)： Jeong Han-Il (School of Mechanical Engineering, Yonsei University,Seoul,Korea) ,  Choi Gyujun (School of Mechanical Engineering, Yonsei University,Seoul,Korea) ,  Kim Jongbaeg (School of Mechanical Engineering, Yonsei University,Seoul,Korea)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： MEMS  ページ： 729-732  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： センシング材料として高温で高い安定性とセンシング性能を有する酸化ガリウムを利用するためのマイクロホットプレート(μHP)を実証した。寿命を強化し,高温運転中の熱損失を低減するために,白金電極を懸垂ブリッジ形状の2つのアルミナ薄膜間に埋め込んだ。製造プロセスは,セラミック材料の使用にもかかわらず,焼結のような高温プロセスを含まず,CMOSプロセスと互換性がある。従来の窒化ケイ素ベースのμHPは650°Cで5秒以内に白金電極を損傷したが,アルミナベースのμHPは110時間以上にわたって破壊なしに耐えた。作製したアルミナμHP上に堆積した酸化ガリウム薄膜は650°Cで一酸化炭素と二酸化窒素を検出することに成功し,開発したセンサプラットフォームが排ガス検出のような高温応用に適していることを示した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *懸濁液 ,  *高温 ,  焼結 ,  セラミック ,  薄膜 ,  互換性 ,  排ガス ,  *アルミナ ,  一酸化炭素 ,  二酸化窒素 ,  酸化ガリウム ,  熱損失 ,  白金電極 ,  窒化ケイ素 ,  生産工程

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 寿命 ,  ガスセンサ ,  懸濁 ,  アルミナ膜