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J-GLOBAL ID：202002263751778872   整理番号：20A0827059

逐次作製プロセスを用いたSi MOSFET上のInGaAs光検出器のモノリシック3D集積【JST・京大機械翻訳】

Monolithic 3D Integration of InGaAs Photodetectors on Si MOSFETs Using Sequential Fabrication Process

著者 (7件)： Geum Dae-Myeong (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST), Daejeon, South Korea) ,  Kim Seong Kwang (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST), Daejeon, South Korea) ,  Lee Subin (Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, South Korea) ,  Lim Donghwan (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University, Seoul, South Korea) ,  Kim Hyung-Jun (Korea Institute of Science and Technology (KIST), Seoul, South Korea) ,  Choi Chang Hwan (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University, Seoul, South Korea) ,  Kim Sang-Hyeon (School of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST), Daejeon, South Korea)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 41  号： 3  ページ： 433-436  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 作製したSOI-MOSFET上のInGaAs PDの逐次プロセスによるシリコンオンインシュレータ金属-オキシド-半導体電界効果トランジスタ(SOI-MOSFET)上へのInGaAs光検出器(PD)のモノリシック3D(M3D)集積を実証した。InGaAs PDとSOI MOSFETは,低温プロセスによる集積と逐次プロセスの後に,それらの本来の性能を示した。さらに,集積素子は,トランジスタ(Trs)とPDを接続することにより,直接注入と検出器当たりのソースフォロワ(SFD)のような基本的な読み出し回路動作を成功裏に実行した。InGaAs PD上に1550nmレーザを照射することにより,Trのオン/オフ状態に従って出力電圧の異なる挙動を明確に得た。これらの結果から,このモノリシック3D積分法は高分解能多色イメージングシステムに向けての実行可能な手法であると考えられる。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： FET【トランジスタ】 ,  高分解能 ,  *光検出器 ,  シーケンシャル処理 ,  *MOSFET ,  トランジスタ ,  *三次元 ,  半導体 ,  検出器 ,  *ヒ化ガリウムインジウム ,  酸化物
準シソーラス用語： イメージングシステム ,  出力電圧 ,  読出回路 ,  低温プロセス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (8件)： 作製 ,  プロセス ,  Si ,  MOSFET ,  InGaAs ,  光検出器 ,  3D ,  集積