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J-GLOBAL ID：202002263758782194   整理番号：20A0006730

多層[ZnO/SiO_2]_25薄膜の電気的および光学的性質【JST・京大機械翻訳】

Electrical and optical properties of multilayered [ZnO/SiO₂]₂₅ thin films

著者 (7件)： Pankov S. Yu. (Department of Solid State Physics, Voronezh State Technical University, Voronezh, 394026, Russia) ,  Makagonov V. A. (Department of Solid State Physics, Voronezh State Technical University, Voronezh, 394026, Russia) ,  Kashirin M. A. (Department of Solid State Physics, Voronezh State Technical University, Voronezh, 394026, Russia) ,  Volochaev M. N. (Federal Research Center KSC Siberian Branch Russian Academy of Sciences, Akademgorodok, 50, Krasnoyarsk 660036, Russia) ,  Zhilova O. V. (Department of Solid State Physics, Voronezh State Technical University, Voronezh, 394026, Russia) ,  Kalinin Yu. E. (Department of Solid State Physics, Voronezh State Technical University, Voronezh, 394026, Russia) ,  Tregubov I. M. (Department of Physics, Voronezh State Technical University, Voronezh, 394026, Russia)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 2174  号： 1  ページ： 020240-020240-5  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多層[ZnO/SiO_2]_25薄膜をイオンビームスパッタリングにより得た。構造のXRDとTEM分析は,ZnO層がナノ結晶で,SiO_2層が非晶質であることを示した。試料の特別な電気抵抗率は,この堆積法で得られた純粋なZnO膜の値と同程度である。薄膜は可視域で高い透明度(>90%)を有し,光学バンドギャップは約3,6eVであった。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  光学ギャップ ,  イオンビームスパッタリング ,  非晶質 ,  *薄膜 ,  X線回折分析 ,  X線回折 ,  電気抵抗率 ,  ナノ結晶 ,  多層 ,  透明度 ,  光学的性質
準シソーラス用語： 二層 ,  *一酸化ケイ素 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多層 ,  ZnO ,  薄膜 ,  光学的性質