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J-GLOBAL ID：202002263938130109   整理番号：20A0916384

圧電抵抗マイクロカンチレバーにおける温度ヒステリシス【JST・京大機械翻訳】

Temperature Hysteresis in Piezoresistive Microcantilevers

著者 (9件)： Miller James M.L. (Stanford University,Department of Mechanical Engineering,Stanford,California,USA) ,  Zhang Ze (Stanford University,Department of Mechanical Engineering,Stanford,California,USA) ,  Bousse Nicholas E. (Stanford University,Department of Mechanical Engineering,Stanford,California,USA) ,  Coso Dusan (Stanford University,Department of Mechanical Engineering,Stanford,California,USA) ,  Sadat Seid (Stanford University,Department of Mechanical Engineering,Stanford,California,USA) ,  Kwon Hyun-Keun (Stanford University,Department of Mechanical Engineering,Stanford,California,USA) ,  Vukasin Gabrielle D. (Stanford University,Department of Mechanical Engineering,Stanford,California,USA) ,  Majumdar Arun (Stanford University,Department of Mechanical Engineering,Stanford,California,USA) ,  Kenny Thomas W. (Stanford University,Department of Mechanical Engineering,Stanford,California,USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： MEMS  ページ： 1203-1206  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 室温から40Kまでのシリコン圧電抵抗マイクロカンチレバーの共振周波数とQ値における顕著な温度ヒステリシスを観測した。このヒステリシスは,支持ビーム長が100μmから30μmに減少するにつれてますます顕著になり,30μmの支持ビーム素子に対して,温度掃引の下方と上方の間のQ値において,20倍以上の差をもたらした。著者らの研究は,温度ヒステリシスが,複数のアンカー点を必要とする熱-ピエゾ抵抗発振器および他のマイクロ電気機械共振器に対する重要な考察であることを示唆している。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 発振器 ,  ヒステリシス ,  ケイ素 ,  *Q値 ,  共振周波数
準シソーラス用語： *圧電抵抗 ,  マイクロカンチレバー ,  機械共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 圧電抵抗 ,  マイクロカンチレバー ,  ヒステリシス