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J-GLOBAL ID：202002264034730895   整理番号：20A0820558

デュアルパラメータ測定のためのバッチ生産可能なハイブリッドFabry-Perot光ファイバセンサ【JST・京大機械翻訳】

Batch-producible Hybrid Fabry-Perot Fiber-Optic Sensors for Dual-parameters Measurement

著者 (9件)： Wang Shuang (Tianjin University,School of Precision Instrument and Opto-Electronics Engineering,Tianjin,China,300072) ,  Wu Wen (Tianjin University,School of Precision Instrument and Opto-Electronics Engineering,Tianjin,China,300072) ,  Jiang Junfeng (Tianjin University,School of Precision Instrument and Opto-Electronics Engineering,Tianjin,China,300072) ,  Liu Kun (Tianjin University,School of Precision Instrument and Opto-Electronics Engineering,Tianjin,China,300072) ,  Wang Xue (Tianjin University,School of Precision Instrument and Opto-Electronics Engineering,Tianjin,China,300072) ,  Yu Xun (Tianjin University,School of Precision Instrument and Opto-Electronics Engineering,Tianjin,China,300072) ,  Cai Weian (Tianjin University,School of Precision Instrument and Opto-Electronics Engineering,Tianjin,China,300072) ,  Zhang Xiaofei (Tianjin University,School of Precision Instrument and Opto-Electronics Engineering,Tianjin,China,300072) ,  Liu Tiegen (Tianjin University,School of Precision Instrument and Opto-Electronics Engineering,Tianjin,China,300072)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： PIERS - Fall  ページ： 1588-1594  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,二重パラメータ測定のための微小電気機械システム(MEMS)技術に基づく3種類のハイブリッドFabry-Perot(FP)光ファイバセンサを提案した。MEMS技術は,センサを高い一貫性を保ち,バッチ生産において利点を持つことができる。これらのセンサは,シリコン-ガラス陽極接合とシリコン-シリコン直接接合技術によって製作され,同じシリコン空洞と類似の空気空洞を持っている。著者らは,シリコン空洞の高い熱光学係数に基づく温度センシングを達成することができて,空気空洞の異なる構造によって屈折率(RI)または圧力センシングを達成することができた。実験結果は,これらのセンサの温度感度が~80pm/°Cであることを示した。溝配列ガラス構造を有するセンサは,気体中で1535.8nm/RIU,液体中で1043.36nm/RIUのRI感度を有していた。中空アレイガラス構造を有する圧力センシング用のセンサは47.89pm/kPaの感度を有し,ホールアレイのシリコン構造を有するセンサは1003.79pm/kPaの感度を有していた。さらに,後者は空気空洞においてより低い温度応答を有して,より良い圧力空洞に及ぼす温度の影響を除去することができた。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ガラス構造 ,  ケイ素 ,  *光ファイバセンサ ,  MEMS ,  屈折率 ,  ガラス ,  温度感受性 ,  センサ ,  熱応答 ,  *バッチ生産
準シソーラス用語： 温度センシング ,  陽極接合 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： デュアル ,  パラメータ ,  バッチ ,  光ファイバセンサ