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J-GLOBAL ID：202002264117815422   整理番号：20A2454731

PVD被覆接着を改善するための集積レーザドライエッチングプロセスによるWC/Co基板表面のマイクロテクスチャの制御可能な調製【JST・京大機械翻訳】

Controllable preparation of micro-textures on WC/Co substrate surface by an integrated laser-dry etching process for improving PVD coatings adhesion

著者 (6件)： Guo Xuhong (Research Institute of Advanced Manufacturing Technology, School of Mechanical and Electric Engineering, Soochow University, Suzhou 215021, PR China) ,  Liu Feng (Research Institute of Advanced Manufacturing Technology, School of Mechanical and Electric Engineering, Soochow University, Suzhou 215021, PR China) ,  Zhang Kedong (Research Institute of Advanced Manufacturing Technology, School of Mechanical and Electric Engineering, Soochow University, Suzhou 215021, PR China) ,  Wang Chuanyang (Research Institute of Advanced Manufacturing Technology, School of Mechanical and Electric Engineering, Soochow University, Suzhou 215021, PR China) ,  Piao Zhanpeng (Research Institute of Advanced Manufacturing Technology, School of Mechanical and Electric Engineering, Soochow University, Suzhou 215021, PR China) ,  Sun Lining (Research Institute of Advanced Manufacturing Technology, School of Mechanical and Electric Engineering, Soochow University, Suzhou 215021, PR China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 534  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： コーティングの基板表面上に作製した微細構造は,物理蒸着(PVD)被覆付着を増強するための確立された方法である。現在,レーザマイクロマシニングは,マイクロ/ナノ構造を調製するために広く使用されている。それにもかかわらず,それはテクスチャ内部の不規則なテクスチャエッジと不規則な突起のような低い処理精度の問題がある。ここでは,マイクロ集合組織を作製するイオンビームエッチング(IBE)支援レーザ加工アプローチを提案し,PVD被覆接着に及ぼすIBE/レーザ集合組織の影響を初めて明らかにした。エッチングプロセス中の超硬合金上の微細構造のプロファイル進展メカニズムを調べた。IBE支援レーザ加工により,高精度と可制御性を有するリング形状マイクロホールアレイを超硬合金基板表面上に作製した。次に,テキスチャード基板を陰極アーク蒸着技術を用いてTiAlN材料で被覆した。集合組織化基板による被覆のスクラッチ試験および乾燥摩耗試験を行い,IBE/レーザテクスチャコーティングが,非組織化およびレーザテクスチャ化のものと比べて,より高い接着強さを示した。このように,IBE支援レーザ加工は,PVD被覆接着を増強するための高精度微細構造の調製に大きな可能性を示す。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 集合組織 ,  *接着 ,  付着 ,  摩耗試験 ,  レーザ加工 ,  超硬合金 ,  *被覆 ,  接着強さ ,  引かき試験 ,  イオンエッチング ,  物理蒸着 ,  ナノ構造
準シソーラス用語： アークイオンプレーティング ,  窒化チタンアルミニウム ,  *PVD被覆 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： IBE支援レーザ加工 ,  PVD被覆 ,  接着強度 ,  マイクロテクスチャ ,  WC/Co

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (9件)： PVD被覆 ,  集積 ,  レーザ ,  ドライエッチングプロセス ,  WC ,  CO ,  基板表面 ,  テクスチャ ,  調製