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J-GLOBAL ID：202002264634800058   整理番号：20A2505694

メタン-水素プラズマからのダイヤモンドCVD合成から生じる表面欠陥【JST・京大機械翻訳】

Specific surface defects arising from diamond CVD-synthesis from methane-hydrogen plasma

著者 (5件)： Martynova T V (National University of Science and Technology “MISIS”, Leninsky Avenue, 4, Moscow, 119049, Russia) ,  Polushin N I (National University of Science and Technology “MISIS”, Leninsky Avenue, 4, Moscow, 119049, Russia) ,  Laptev A I (National University of Science and Technology “MISIS”, Leninsky Avenue, 4, Moscow, 119049, Russia) ,  Zakharova E S (National University of Science and Technology “MISIS”, Leninsky Avenue, 4, Moscow, 119049, Russia) ,  Maslov A L (National University of Science and Technology “MISIS”, Leninsky Avenue, 4, Moscow, 119049, Russia)
資料名： IOP Conference Series: Materials Science and Engineering  (IOP Conference Series: Materials Science and Engineering)
巻： 919  号： 2  ページ： 022054 (6pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5559A  ISSN： 1757-8981  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンドは,人間性に長い間知られてきたユニークな材料である。それは,不純物組成を変えることで管理できる独特の電気物理特性と同様に,非常に高い硬度,熱伝導率を有する。したがって,この材料は,現在,ダイヤモンドの高いコスト,その合成の困難さ,機械的及び物理的加工によって複雑な工学における広範な使用の可能性を獲得した。高品質ポリ及び単結晶を得るための有望な方向,従ってダイヤモンド使用の分野の拡大は気相(CVD)からの堆積の方法である。ダイヤモンドの堆積中に研究者が直面する主な問題は,成長ゾーンにおける表面欠陥の形成である。本研究では,3%メタンのメタン-水素プラズマから得た厚さ300~500μmの単結晶ダイヤモンドCVD膜上で観測された欠陥を議論した。表面を走査型電子顕微鏡で調べた。その結果,ダイヤモンド膜CVD成長中に,主に3種類の欠陥が形成されることが明らかになった:エッチピット,孤立したダイヤモンド粒子(”層状”ダイヤモンド)およびダイヤモンド板周辺に形成された粗粒ダイヤモンド。これらの欠陥を除去する方法を提案した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  単結晶 ,  熱伝導率 ,  不純物 ,  *ダイヤモンド ,  物理的性質 ,  エッチピット ,  物理的加工 ,  気相 ,  硬度
準シソーラス用語： 高品質 ,  ダイヤモンド膜 ,  粗粒子 ,  単結晶ダイアモンド ,  *水素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： メタン ,  水素プラズマ ,  ダイヤモンド ,  CVD ,  表面欠陥