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J-GLOBAL ID：202002264681862797   整理番号：20A2445922

電気機械負荷中のジルコニウム酸チタン酸鉛薄膜の破壊機構【JST・京大機械翻訳】

Failure Mechanisms of Lead Zirconate Titanate Thin Films during Electromechanical Loading

著者 (6件)： Coleman Kathleen (Materials Research Institute, Pennsylvania State University,Materials Science and Engineering Dept.,University Park,PA,USA) ,  Walker Julian (Norwegian University of Science and Technology,Department of Materials Science and Engineering,Trondheim,Norway) ,  Zhu Wanlin (Materials Research Institute, Pennsylvania State University,Materials Science and Engineering Dept.,University Park,PA,USA) ,  Ko Song Won (Xaar Plc & Materials Research Institute, Pennsylvania State University,University Park,PA,USA) ,  Mardilovich Peter (Xaar Plc,Cambridge,UK) ,  Trolier-McKinstry Susan (Materials Research Institute, Pennsylvania State University,Materials Science and Engineering Dept.,University Park,PA,USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： IFCS-ISAF  ページ： 1-5  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電薄膜の破壊機構を理解することは,圧電マイクロ電気機械システムの商業化にとって重要である。本論文は,大きな電場の下で異なる面内応力を有するSiウエハ上の0.6μmのジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)薄膜の破壊を記述する。膜は,亀裂と熱破壊事象の組合せによって失敗した。亀裂開始と伝搬挙動は膜の応力状態によって変化することが分かった。亀裂発生に必要な全応力は約500MPaと見積もられた。予想通り,亀裂は,最大引張応力方向に垂直に伝播した。熱破壊事象と亀裂は相関し,電気的と機械的破壊の間の結合を示唆した。また,下地基板から放出される膜は亀裂による破壊に対して感受性が低いことが分かった。電場負荷の間,放出した膜スタックは,いくつかの応力を曲げて,軽減できることを提案した。放出した膜はまた,それらの破壊靱性を増加させる強化された分域壁運動を経験するかもしれない。その結果,印加応力とクランプ条件の両方が圧電薄膜の電気機械破壊に重要な役割を果たすことを示した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 亀裂 ,  電場 ,  *薄膜 ,  クランプ ,  *電気機械 ,  破壊靱性 ,  圧電気 ,  感受性 ,  引張応力 ,  商業化 ,  亀裂発生
準シソーラス用語： *破壊機構 ,  シリコンウエハ ,  応力状態 ,  面内応力 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電気機械 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  薄膜 ,  破壊