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J-GLOBAL ID：202002264878577358   整理番号：20A2700710

マイクロ波インピーダンス顕微鏡の開発と最近の進歩【JST・京大機械翻訳】

Developments and Recent Progresses in Microwave Impedance Microscope

著者 (3件)： Chen Zhijie (School of Aerospace science and technology, Xidian University, Xi’an 710071, China) ,  Guo Baolong (School of Aerospace science and technology, Xidian University, Xi’an 710071, China) ,  Zhong Zhaoqi (School of Aerospace science and technology, Xidian University, Xi’an 710071, China)
資料名： Journal of Physics: Conference Series  (Journal of Physics: Conference Series)
巻： 1650  号： 2  ページ： 022086 (9pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5565A  ISSN： 1742-6588  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ波インピーダンス顕微鏡(MIM)は,低放射エネルギーを有し,損傷のない試料を検出できる近接場マイクロ波技術である。検出プローブとしての共通モード信号を著しく抑制できる多くの利点があり,それは,高空間分解能で電気特性を特性化するための強力なツールである。本論文は,基本的原理と装置構成を含む,詳細にMIMの主要な理論をレビューした。さらに,本論文は,MIM特性の改善と,ナノスケール誘電率と伝導率,静電容量変化,および電子不均一性の定量的測定における切削エッジ応用を要約した。最近の文献における関連する実装と現在の要求に基づくMIMの展望を論じた。MIMの限界と利点も強調し,既存の近接場マイクロ波顕微鏡へのより多くの研究に対する認識を深めるために調査した。MIM技術の進行中の進歩と将来展望に関する本レビューは,電子とマイクロ波測定コミュニティの参照を提供することを目的とする。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *インピーダンス ,  プローブ ,  *マイクロ波 ,  誘電率 ,  切削 ,  マイクロ波測定 ,  コミュニティ ,  静電容量 ,  放射エネルギー ,  電気特性 ,  不均一性 ,  キャラクタリゼーション ,  近接場
準シソーラス用語： ナノスケール ,  伝導率 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  電気的・磁気的実験技術  (BA02050S)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ波 ,  インピーダンス ,  顕微鏡 ,  開発