文献

J-GLOBAL ID：202002265587942600   整理番号：20A0373026

曲げ伸ばし可能な高機能性ファインセラミックスの高品質単結晶薄膜 高品質ファインセラミックス単結晶薄膜を基板から剥がして別の基板に転写する技術

著者 (1件)： 西川博昭 (近畿大 生物理工)
資料名： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
巻： 30  号： 2  ページ： 56-60  発行年： 2020年02月10日 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・本稿では,プラスチックシートへ高機能性ファインセラミックス薄膜を形成する転写技術の概要と,それを用いた機能性酸化物単結晶薄膜を高品質に転写する試みを紹介。
・転写の試みとして,パルスレーザ堆積法を用いてMgO(100)単結晶基板上に,機能性酸化物BaTiO₃(BTO)の単結晶薄膜を成長させ,その後,それをPETに転写したと説明。
・PETへのBTO薄膜転写前後のXRDパターンより,BTO薄膜をPET上に転写できることが判明,しかし,BTO薄膜の一部がMgO基板に残るという課題が残ったと記述。
・PETとBTOの接触界面に歪み応力を緩和する白金バッファ層を導入,前述の課題の改善が図れることを確認。

シソーラス用語： *機能性セラミック ,  圧電体 ,  強誘電体 ,  チタン酸バリウム ,  *単結晶 ,  *薄膜 ,  *転写 ,  酸化マグネシウム ,  基板 ,  ポリエチレンテレフタレート ,  エピタクシー ,  パルスレーザ蒸着 ,  バッファ層 ,  白金 ,  芳香族ポリエステル
準シソーラス用語： PET【重合体】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 曲げ伸ばし ,  機能性 ,  ファインセラミックス ,  高品質 ,  単結晶薄膜 ,  転写