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J-GLOBAL ID：202002266044712170   整理番号：20A1936487

内部モード結合による微小電気機械共振器の熱応答性における巨大増強【JST・京大機械翻訳】

Giant Enhancement in the Thermal Responsivity of Microelectromechanical Resonators by Internal Mode Coupling

著者 (6件)： Zhang Ya (Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Koganei-shi, Tokyo 184-8588, Japan) ,  Kondo Ryoka (Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan) ,  Qiu Boqi (Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan) ,  Liu Xin (Beijing-Dublin International College and Institute of Theoretical Physics, Beijing University of Technology, 100 Pingleyuan, 100124 Beijing, People’s Republic of China) ,  Hirakawa Kazuhiko (Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan) ,  Hirakawa Kazuhiko (Institute for Nano Quantum Information Electronics, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan)
資料名： Physical Review Applied  (Physical Review Applied)
巻： 14  号： 1  ページ： 014019  発行年： 2020年 
JST資料番号： W3691A  ISSN： 2331-7019  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 内部モード結合効果を用いて,二重固定[数式:原文を参照]マイクロ電気機械システム(MEMS)ビーム共振器の熱応答性における巨大増強について報告した。これは,立方Duffing非線形性を通してMEMSビーム共振器の基本ねじりモードと基本的曲げモードを結合することによって達成される。モード結合領域では,MEMS共振器への入力熱が特定の周波数で変調されると,加熱により生じる共振周波数シフトは,ほぼ2桁増強できることを見出した。観測された効果は,室温での超高感度テラヘルツ検出のようなMEMS共振器の使用による高感度熱センシングの実現に有望である。Copyright 2020 The American Physical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *共振器 ,  ねじり ,  非線形性 ,  *モード結合 ,  高感度 ,  共振周波数 ,  *熱応答 ,  *MEMS ,  テラヘルツ波
準シソーラス用語： 曲げモード ,  MEMS共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  振動の励起・発生・測定  (BB02030Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： モード結合 ,  微小電気機械 ,  共振器 ,  熱応答性 ,  増強