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J-GLOBAL ID：202002266395399525   整理番号：20A0588582

フライカットによるマイクロピラミッド構造の作製【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of micropyramid structure by fly-cutting

著者 (9件)： Huang Yuetian (Chinese Academy of Sciences, Institute of Optics and Electronics, Chengdu, China) ,  Huang Yuetian (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Li Shijie (Xi’an Technological University, Shaanxi Province Key Laboratory of Thin Film Technology and Optical Test, Xi’an, China) ,  Fan Bin (Chinese Academy of Sciences, Institute of Optics and Electronics, Chengdu, China) ,  Wan Yongjian (Chinese Academy of Sciences, Institute of Optics and Electronics, Chengdu, China) ,  Wu Shibin (Chinese Academy of Sciences, Institute of Optics and Electronics, Chengdu, China) ,  Zhang Jin (Xi’an Technological University, Shaanxi Province Key Laboratory of Thin Film Technology and Optical Test, Xi’an, China) ,  Liang Haifeng (Xi’an Technological University, Shaanxi Province Key Laboratory of Thin Film Technology and Optical Test, Xi’an, China) ,  Ge Shaobo (Xi’an Technological University, Shaanxi Province Key Laboratory of Thin Film Technology and Optical Test, Xi’an, China)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 58  号： 1  ページ： 013107  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 要約。より少ないばりとチップを有する滑らかな溝を得るための最適化されたパラメータを得るために,切断による微小溝切断を研究した。第二溝の理由を解析し,切削時間を短縮して機械の位置誤差の影響を低減した。追加の空のカットを導入することにより,バリとチップをさらに低減した。理想的なマイクロピラミッドアレイを得るために,すべての因子を考慮し,制御する必要がある。最終的に,その構造が全体の表面を均等に分布し,明確なチップを持たない1μmの深さを持つ加工ピラミッド配列を持つ。Copyright 2019 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *切削 ,  最適化 ,  角錐
準シソーラス用語： 位置誤差 ,  *フライカット , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： フライカット ,  マイクログルーブ ,  マイクロピラミッドアレイ

分類 (3件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

タイトルに関連する用語 (3件)： フライカット ,  ピラミッド ,  作製