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J-GLOBAL ID：202002267049875726   整理番号：20A0815460

Czochralskiシリコン単結晶成長プロセスの溶融表面温度に対するデータ駆動モデルフリー適応スライディングモード制御【JST・京大機械翻訳】

Data-driven model-free adaptive sliding mode control for melt surface temperature of Czochralski silicon monocrystal growth process

著者 (4件)： Ren Jun-Chao (Xi’an University of Technology,National & Local Engineering Research Center of Crystal Growth Equipment and System Integration,Xi’an,China,710048) ,  Liu Ding (Xi’an University of Technology,National & Local Engineering Research Center of Crystal Growth Equipment and System Integration,Xi’an,China,710048) ,  Wang Zhan (Xi’an University of Technology,National & Local Engineering Research Center of Crystal Growth Equipment and System Integration,Xi’an,China,710048) ,  Wan Yin (Xi’an University of Technology,National & Local Engineering Research Center of Crystal Growth Equipment and System Integration,Xi’an,China,710048)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： CAC  ページ： 4047-4051  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 熱はCzochralskiシリコン単結晶成長過程における固液相変態の駆動力であり,溶融表面温度はシリコン単結晶の品質に直接影響する。複雑な物理的変化,多場および多相結合,不確定モデルおよびシリコン単結晶成長過程の時間変化および非線形特性により,機構モデルを得ることが困難になる。本論文は,溶融表面温度制御のためのモデル自由適応離散スライディングモード制御(MFASMC)法を提示した。最初に,ヒータ電力と溶融表面温度の間の熱システムモデルを,ELMを用いたデータに基づいて確立した。第二に,システムのI/Oデータによるコンパクトな動的線形化による制御装置の設計。一方,離散スライディングモードのアイデアは,モデル自由適応制御(MFAC)の追跡性能とロバスト性を強化することである。最後に,提案した方法の有効性をシミュレーション解析により検証した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ロバスト性 ,  有効性 ,  スライディングモード制御 ,  加熱器 ,  不確実性 ,  システムモデル ,  駆動力 ,  成長段階 ,  *表面温度 ,  シミュレーション ,  温度制御 ,  多相 ,  電力 ,  適応制御 ,  制御装置

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (9件)： シリコン ,  単結晶成長 ,  プロセス ,  溶融 ,  表面温度 ,  データ駆動 ,  モデル ,  適応 ,  スライディングモード制御