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J-GLOBAL ID：202002267860098227   整理番号：20A2470110

モノシランとアセチレンの混合物のレーザ熱分解による炭化ケイ素ナノ粒子の合成【JST・京大機械翻訳】

Synthesis of Silicon-Carbide Nanoparticles by the Laser Pyrolysis of a Mixture of Monosilane and Acetylene

著者 (6件)： Ershov I. A. (Prokhorov General Physics Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia) ,  Iskhakova L. D. (Prokhorov General Physics Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia) ,  Krasovskii V. I. (Prokhorov General Physics Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia) ,  Milovich F. O. (Prokhorov General Physics Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia) ,  Rasmagin S. I. (Prokhorov General Physics Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia) ,  Pustovoi V. I. (Prokhorov General Physics Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia)
資料名： Semiconductors  (Semiconductors)
巻： 54  号： 11  ページ： 1467-1471  発行年： 2020年 
JST資料番号： T0093A  ISSN： 1063-7826  CODEN： SMICES  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭化ケイ素ナノ粒子のレーザ励起合成反応の条件を決定し,それらの特性化を行った。気相中のSiC粒子のレーザ合成反応を1.6~3.2の範囲でSiH_4/C_2H_2流量比で観察した。反応-ゾーン領域の温度は,λ>1400~1500°Cであった。直径6nmの炭化ケイ素ナノ粒子を作製し,それらの組成を調べた。Copyright Pleiades Publishing, Ltd. 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *シラン ,  *炭化ケイ素 ,  *炭化 ,  気相 ,  キャラクタリゼーション ,  レーザ励起 ,  アルキン
準シソーラス用語： 流量比 ,  *シリコンナノ粒子 ,  スピン状態 ,  *レーザ熱分解 ,  ナノ粒子合成 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 炭化ケイ素ナノ粒子 ,  スピン状態 ,  レーザ熱分解 ,  ナノ粒子合成

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (6件)： モノシラン ,  アセチレン ,  混合物 ,  レーザ熱分解 ,  炭化 ,  ケイ素ナノ粒子