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J-GLOBAL ID:202002267980794248   整理番号:20A0788058

高精度反射鏡のためのばね原理に基づく柔軟支持構造【JST・京大機械翻訳】

Flexible support structure based on spring principle for a high precision reflecting mirror
著者 (2件):
資料名:
巻: 207  ページ: Null  発行年: 2020年 
JST資料番号: D0251A  ISSN: 0030-4026  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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軌道上組立宇宙望遠鏡検証プロトタイプの光学検査システムにおいて,マルチ作業条件(0°と90°)の下にある反射鏡の高精度支持構造のために,スプリングの原理に基づく新しいタイプの3葉フレキシブル構造を設計した。最初に,表面形状精度と剛体変位に影響を及ぼすことができる外部荷重とその作用機構を実証した。第二に,新しい柔軟構造の詳細な構造形式を与え,この新しい構造形式に基づいて,支持剛性の応力解放原理と理論解析を行った。最後に,有限要素解析法を用いて,柔軟構造のサイズパラメータを最適化した。設計結果は,重力負荷と±2°Cの熱負荷の下で,支持構造によって引き起こされた表面形状誤差は4.5nmであり,最大並進変位は0.0073mmであり,最大角度変位は1.22であることを示した。試験結果は,表面図形精度がλ/60(λ=632.8nm)より良く,剛体の変位が0.01mmと1.5′′の要求を満たすことを示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
分類
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光の屈折,反射,分散,偏向,吸収,透過  ,  光デバイス一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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