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J-GLOBAL ID：202002268048945713   整理番号：20A2004860

光位相シフト干渉法を用いた音場測定からのMEMSマイクロホンの周波数応答の決定【JST・京大機械翻訳】

Determination of frequency response of MEMS microphone from sound field measurements using optical phase-shifting interferometry method

著者 (6件)： Hermawanto Denny (Department of Intermedia Art and Science, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku-ku, Tokyo 169-8555, Japan) ,  Hermawanto Denny (National Standardization Agency of Indonesia (BSN), Bld. 420 Komplek PUSPIPTEK, Tangerang Selatan, Banten, 15314, Indonesia) ,  Ishikawa Kenji (NTT Communication Science Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corporation, 3-1 Morinosato Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan) ,  Ishikawa Kenji (Department of Intermedia Art and Science, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku-ku, Tokyo 169-8555, Japan) ,  Yatabe Kohei (Department of Intermedia Art and Science, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku-ku, Tokyo 169-8555, Japan) ,  Oikawa Yasuhiro (Department of Intermedia Art and Science, Waseda University, 3-4-1 Ohkubo, Shinjuku-ku, Tokyo 169-8555, Japan)
資料名： Applied Acoustics  (Applied Acoustics)
巻： 170  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0559A  ISSN： 0003-682X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロホン感度の正確な決定は,信頼できる音響機器を構築するために重要である。感度は,通常,キャリブレーションにより決定される。しかし,利用可能なマイクロホンキャリブレーション法は,従来の凝縮器マイクロホンの幾何学から導かれる数学モデルから感度を決定するので,マイクロ電気機械システム(MEMS)マイクロホンの較正には直接適用できない。利用可能なキャリブレーション法とこの幾何学差を妥協するために,従来のキャリブレーション装置に適合し,キャリブレーション手順を修正するアダプタの開発を提案した。本論文では,MEMSマイクロホンを較正するための異なるアプローチを提案した。感度をMEMSマイクロホンに適用した音場の測定と出力電圧から直接計算した。音場の投影を平行位相シフト干渉法(PPSI)で測定し,MEMSマイクロホン上の音圧をトモグラフィ再構成により得た。MEMSマイクロホンの実験的較正を行い,感度結果の不一致を評価するために,マイクロホン置換法を用いて検証した。1000Hzから12000Hzの周波数範囲におけるMEMSマイクロホンの周波数応答を決定するために,提案した方法を使用できることを示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *音場 ,  幾何学 ,  *周波数応答 ,  *マイクロホン ,  数学モデル ,  置換工法 ,  音響機器 ,  音圧 ,  アダプタ ,  *MEMS
準シソーラス用語： 位相シフト干渉計 ,  位相シフト干渉法 ,  出力電圧 ,  トモグラフィー再構成 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： キャリブレーション ,  MEMSマイクロホン ,  感度 ,  光学的方法 ,  位相シフト干渉計

分類 (1件)： オーディオ機器  (NC06010U)

タイトルに関連する用語 (5件)： 位相シフト干渉法 ,  音場 ,  MEMS ,  マイクロホン ,  周波数応答