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J-GLOBAL ID：202002268063456106   整理番号：20A0867353

CrCuN被覆の優先配向と性質に及ぼすCu含有量の影響【JST・京大機械翻訳】

INFLUENCE OF Cu CONTENT ON PREFERRED ORIENTATION AND PROPERTIES OF CrCuN COATINGS

著者 (7件)： TAN SHUYONG (School of Materials Science and Engineering, Nanjing Institute of Technology, Nanjing 211167, P. R. China) ,  TAN SHUYONG (Jiangsu Key Laboratory of Advanced Structural, Materials and Application Technology, Nanjing 211167, P. R. China) ,  ZHANG XUHAI (School of Material Science and Engineering, Southeast University, Nanjing 211189, P. R. China) ,  ZHEN RUI (School of Materials Science and Engineering, Nanjing Institute of Technology, Nanjing 211167, P. R. China) ,  ZHEN RUI (Jiangsu Key Laboratory of Advanced Structural, Materials and Application Technology, Nanjing 211167, P. R. China) ,  WANG ZHANGZHONG (School of Materials Science and Engineering, Nanjing Institute of Technology, Nanjing 211167, P. R. China) ,  WANG ZHANGZHONG (Jiangsu Key Laboratory of Advanced Structural, Materials and Application Technology, Nanjing 211167, P. R. China)
資料名： Surface Review and Letters  (Surface Review and Letters)
巻： 27  号： 3  ページ： 1950113  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1109A  ISSN： 0218-625X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： シンガポール (SGP)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： DCパルスマグネトロン反応性スパッタリングによる二重ターゲット共スパッタリングを用いて,CrCuN被覆を蒸着した。Cu含有量は,Cuターゲット電流が0.08から0.24[数式:原文を参照]Aに増加すると,0.7[数式:原文を参照]から5.5[数式:原文を参照]に増加した。CrCuN被覆の優先配向と特性に及ぼすCu含有量の影響を研究した。結果は,CrCuNコーティングが主にCrN相から成ることを示した。4.2[数式:原文を参照]%Cuを含む被覆を除いて,他のCrCuN被覆はCrN(111)優先配向を示した。全ての被覆はゆるい構造を持ち,それは主に不満足な硬度の原因である。配向成長は,Cu含有量による被覆硬度の変化において重要な役割を果たした。Copyright 2020 World Scientific Publishing Company All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 硬度 ,  *銅 ,  *優先配向 ,  スパッタリング ,  反応性スパッタリング ,  *被覆 ,  電流
準シソーラス用語： 同時スパッタリング ,  *Cu含有量 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： CrCuNコーティング ,  二重ターゲットCOスパッタリング ,  優先方位 ,  硬さ

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 優先配向 ,  性質 ,  Cu含有量